極薄ポアシールを用いた65nm-node対応多層配線(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)宗弘 多田,恵充 原田,貴央 田村,尚也 井上,文則 伊藤,政行 吉木,浩人 大竹,充 成広,政由 田上,誠 植木,健一郎 肱岡,真理 阿部,常雄 竹内,忍 斉藤,貴弘 小野寺,直也 古武,浩一 新井,清 藤井,喜宏 林SIAM International Conference on Data Mining (SDM)CCF B被引用23|浏览8上传PDF引用加入学术空间AI Read Science数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果，我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问，可以通过电子邮件方式联系我们：report@aminer.cnChat Paper正在生成论文摘要
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