Перколяционный анализ структурных превращений и образование нанокластеров кремния при термическом отжиге пленок SiOxв н семиногов, в и соколов,в н глебов,а м малютин, е в троицкая,с и молчанова,а с ахманов,в я панченко,в ю тимошенко,д м жигунов,п а форш,о а шалыгина,н е маслова,п к кашкаровmag(2010)被引用21|浏览6上传PDF分享引用加入学术空间AI Read Science数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cnChat Paper正在生成论文摘要