专一种异构直线电机直驱的静压气浮与柔性铰链行程缩放式二维宏微复合定位系统发明人马平, 饶炜, 冷越, 伍文熙, 营金龙受让人-申请人-申请号-申请日-公开(公告)号-公开(公告)日-IPC分类号-CPC分类号-优先权号-优先权日-权利要求No data说明书No data同族专利暂无同族专利