[0001]本発明は、基板上に部品が搭載された部品搭載基板を得る実装機を備えた部品実装システムに関する。
[0002]従来から、プリント基板等の基板上に電子部品（以下、単に「部品」という）を搭載して部品搭載基板を得る実装機を備えた部品実装システムが知られている。この種の部品実装システムにおいて実装機は、部品を供給する部品供給処理を行うフィーダーと、フィーダーにより供給された部品を吸着する部品吸着処理を行う吸着ノズルを有し、部品を基板に搭載する部品搭載処理を行う搭載ヘッドと、を備える。搭載ヘッドは、基板に予め設定された複数の目標搭載位置の各々に対応して、前記部品搭載処理を行う。
[0003]搭載ヘッドの部品搭載処理において、吸着ノズルによる部品の実際の吸着位置（実吸着位置）と、目標吸着位置との間に位置ずれが生じる場合がある。このような吸着位置の位置ずれは、基板上における部品の実際の搭載位置（実搭載位置）の目標搭載位置に対する位置ずれの発生要因となり得る。基板上において部品の実搭載位置の位置ずれが生じた場合には、実装機によって得られる部品搭載基板の品質に影響を与える。
[0004]特許文献１には、基板上における部品の実搭載位置の位置精度を高めるための技術が開示されている。特許文献１に開示される技術では、吸着ノズル（治具）によって部品を吸着保持した搭載ヘッド（ヘッド部）が、基板上の目標搭載位置（実装位置）に停止した状態で、部品を撮像して画像認識する。この画像認識によって、吸着ノズルに吸着保持された部品の中心位置と目標搭載位置との位置の差が求められる。そして、当該位置の差を用いて、基板上における部品の実搭載位置の位置精度を高めるための実装機のキャリブレーションが行われる。
[0005]ところで、吸着ノズルの経年劣化などにより、部品の実吸着位置の位置ずれが許容範囲を超えて大きくなる場合がある。この場合、特許文献１に開示される技術のように、吸着ノズルに吸着保持された部品の中心位置と目標搭載位置との位置の差に基づき実装機のキャリブレーションを行ったとしても、基板上における部品の実搭載位置の位置ずれの不良を解消することができない虞がある。特許文献１に開示される技術では、吸着ノズルによる部品の実吸着位置の位置ずれの発生要因を特定することが困難であるため、基板上における部品の実搭載位置の位置ずれの不良を解消するための適切な対策を講じることが困難である。
[0006]特開２００１－２２３４９９号公報
[0007]本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、吸着ノズルによる部品の吸着位置の位置ずれの発生状況を確認し、当該位置ずれの発生要因を特定することが可能な部品実装システムを提供することにある。
[0008]本発明の一の局面に係る部品実装システムは、部品を供給する部品供給処理を行うフィーダーと、前記部品を吸着する部品吸着処理を行う吸着ノズルを有し、前記吸着ノズルにより吸着された前記部品を基板に搭載する部品搭載処理を行うことで部品搭載基板を得る搭載ヘッドと、を含む実装機と、前記実装機とデータ通信可能に接続される管理装置と、を備える。前記管理装置は、前記部品吸着処理における前記吸着ノズルに対する前記部品の吸着位置のずれ量を示す吸着位置ずれデータと、前記部品供給処理、前記部品吸着処理、及び前記部品搭載処理の各処理で用いられた前記部品、前記フィーダー、前記吸着ノズル、及び前記搭載ヘッドをそれぞれ特定するための各パラメータ情報と、前記各処理の処理状態の画像をそれぞれ示す各処理状態画像と、を前記実装機から取得する管理通信部と、前記吸着位置ずれデータと、前記各パラメータ情報と、前記各処理状態画像とを関連付けた管理データを蓄積して記憶する管理記憶部と、前記管理データの情報を表示する管理表示部と、前記管理表示部の表示形態に関する指令が入力される管理操作部と、前記管理操作部に入力された指令に応じて前記管理表示部を制御する管理制御部と、を含む。前記管理制御部は、前記各パラメータ情報の中から一のパラメータ情報を選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、前記一のパラメータ情報に着目した前記吸着位置ずれデータのデータ群の分布を示す吸着位置ずれ分布が表示されるように、前記管理表示部を制御する。更に、前記管理制御部は、前記吸着位置ずれ分布が前記管理表示部に表示された状態で、前記吸着位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の前記吸着位置ずれデータを選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、当該特定の吸着位置ずれデータに対応した前記各処理状態画像が前記吸着位置ずれ分布と同時に表示されるように、前記管理表示部を制御する。
[0009]本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。
[0010]本発明の一実施形態に係る部品実装システムの全体構成を示す図である。 部品実装システムに備えられる実装機のブロック図である。 実装機における実装機本体の構成を示す平面図である。 実装機本体のヘッドユニットの部分を拡大して示す図である。 部品実装システムに備えられる搭載検査装置のブロック図である。 部品実装システムに備えられる管理装置のブロック図である。 管理装置に備えられる管理表示部の表示画面を示す図であって、吸着位置ずれ分布が表示された状態を示す図である。 管理表示部の表示画面を示す図であって、搭載位置ずれ分布が表示された状態を示す図である。 管理表示部の表示画面を示す図であって、吸着位置ずれ分布と搭載位置ずれ分布とが同時に表示された状態を示す図である。 管理表示部の表示画面を示す図であって、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布と、吸着位置ずれ推移グラフ及び搭載位置ずれ推移グラフとが同時に表示された状態を示す図である。 吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布と吸着位置ずれ推移グラフ及び搭載位置ずれ推移グラフとが同時に表示される場合における、表示態様の他の例を示す図である。 管理表示部の表示画面を示す図であって、吸着レベル推移グラフが表示された状態を示す図である。 管理表示部の表示画面を示す図であって、正常吸着率表が表示された状態を示す図である。
[0011]以下、本発明の実施形態に係る部品実装システムについて図面に基づいて説明する。
[0012]図１に示されるように、本実施形態に係る部品実装システム１００は、パターン形成装置１０と、パターン検査装置１１と、実装機１２と、搭載検査装置１３と、リフロー装置１４と、リフロー検査装置１５と、管理装置１６とを備えている。
[0013]パターン形成装置１０、パターン検査装置１１、実装機１２、搭載検査装置１３、リフロー装置１４、及びリフロー検査装置１５は、この順に直線状に並ぶように連結されて、部品実装ラインを構成する。管理装置１６は、パターン検査装置１１、実装機１２、搭載検査装置１３、及びリフロー検査装置１５とデータ通信可能に接続されている。
[0014]パターン形成装置１０は、半田ペーストのパターンが形成されたパターン形成基板ＰＰを得るための装置である。このパターン形成基板ＰＰは、パターン検査装置１１に搬入される。パターン検査装置１１は、パターン形成基板ＰＰを撮像する撮像部を備えている。パターン検査装置１１は、撮像部の撮像によって得られたパターン形成基板ＰＰの画像を示すパターン基板画像Ｇ１に基づいて、当該パターン形成基板ＰＰを検査する。パターン基板画像Ｇ１は、パターン形成基板ＰＰにおける半田ペーストのパターンに対応した画素群からなる領域を含む画像である。パターン基板画像Ｇ１は、例えば、パターン形成基板ＰＰにおける半田ペーストのパターンの形成状態などを確認することが可能な画像である。パターン検査装置１１は、パターン基板画像Ｇ１に所定の画像処理を施すことにより、パターン形成基板ＰＰにおける半田ペーストのパターンの形成状態を検査する。パターン検査装置１１による検査後のパターン形成基板ＰＰは、実装機１２に搬入される。
[0015]実装機１２は、パターン形成基板ＰＰ上に電子部品（以下、「部品」と称する）が搭載された部品搭載基板ＰＰＡを生産するための装置である。この実装機１２について、図１に加えて図２～図４を参照しながら説明する。なお、図３では、水平面上において互いに直交するＸＹ直交座標を用いて方向関係が示されている。
[0016]実装機１２は、実装機本体２と、実装制御部４と、実装通信部４０と、実装記憶部４０Ｍとを備える。実装機本体２は、部品搭載基板ＰＰＡの生産時において、パターン形成基板ＰＰに部品を搭載する部品搭載処理等を行う構造部分を構成する。実装通信部４０は、管理装置１６とデータ通信を行うためのインターフェースであり、各種のデータ及び情報を管理装置１６に向けて出力する機能を有する。実装制御部４は、実装記憶部４０Ｍに記憶された基板データＤ２５に従って実装機本体２の部品搭載処理等を制御するとともに、実装通信部４０のデータ通信を制御する。
[0017]実装機本体２は、本体フレーム２１と、コンベア２３と、部品供給ユニット２４と、ヘッドユニット２５と、基板支持ユニット２８とを備える。
[0018]本体フレーム２１は、実装機本体２を構成する各部が配置される構造体であり、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の両方向と直交する方向（鉛直方向）から見た平面視で略矩形状に形成されている。コンベア２３は、Ｘ軸方向に延び、本体フレーム２１に配置される。コンベア２３は、パターン形成基板ＰＰをＸ軸方向に搬送する。コンベア２３上を搬送されるパターン形成基板ＰＰは、所定の作業位置（パターン形成基板ＰＰ上に部品が搭載される部品搭載位置）に、基板支持ユニット２８によって位置決めされるようになっている。基板支持ユニット２８は、パターン形成基板ＰＰを下方側から支持することによって、当該パターン形成基板ＰＰをコンベア２３上において位置決めする。
[0019]部品供給ユニット２４は、本体フレーム２１におけるＹ軸方向の両端部のそれぞれの領域部分に、コンベア２３を挟んで配置される。部品供給ユニット２４は、本体フレーム２１において、フィーダー２４Ｆが複数並設された状態で装着される領域であって、後述のヘッドユニット２５に備えられる搭載ヘッド２５１による保持対象の部品毎に、各フィーダー２４Ｆのセット位置が区画されている。フィーダー２４Ｆは、部品供給ユニット２４に着脱自在に装着される。フィーダー２４Ｆは、部品を供給する部品供給処理を行う装置である。フィーダー２４Ｆは、複数の部品を保持し、その保持した部品をフィーダー内に設定された所定の部品供給位置に供給できるものであれば特に限定されず、例えばテープフィーダーである。テープフィーダーは、部品を所定間隔おきに収納した部品収納テープが巻回されたリールを備え、そのリールから部品収納テープを送出することにより、部品を供給するように構成されたフィーダーである。
[0020]ヘッドユニット２５は、移動フレーム２７に保持されている。本体フレーム２１上には、Ｙ軸方向に延びる固定レール２６１と、Ｙ軸サーボモータ２６３により回転駆動されるボールねじ軸２６２とが配設されている。移動フレーム２７は固定レール２６１上に配置され、この移動フレーム２７に設けられたナット部分２７１がボールねじ軸２６２に螺合している。また、移動フレーム２７には、Ｘ軸方向に延びるガイド部材２７２と、Ｘ軸サーボモータ２７４により駆動されるボールねじ軸２７３とが配設されている。このガイド部材２７２にヘッドユニット２５が移動可能に保持され、このヘッドユニット２５に設けられたナット部分がボールねじ軸２７３に螺合している。そして、Ｙ軸サーボモータ２６３の作動により移動フレーム２７がＹ軸方向に移動するとともに、Ｘ軸サーボモータ２７４の作動によりヘッドユニット２５が移動フレーム２７に対してＸ軸方向に移動するようになっている。すなわち、ヘッドユニット２５は、移動フレーム２７の移動に伴ってＹ軸方向に移動可能であり、且つ、移動フレーム２７に沿ってＸ軸方向に移動可能である。ヘッドユニット２５は、部品供給ユニット２４と基板支持ユニット２８に支持されたパターン形成基板ＰＰとの間で移動可能である。ヘッドユニット２５は、部品供給ユニット２４とパターン形成基板ＰＰとの間で移動することにより、部品をパターン形成基板ＰＰに搭載する部品搭載処理を実行する。
[0021]図４に示されるように、ヘッドユニット２５は、複数の搭載ヘッド２５１を備えている。各搭載ヘッド２５１は、その先端（下端）に装着された吸着ノズル２５１１を有する。吸着ノズル２５１１は、フィーダー２４Ｆにより供給された部品の吸着保持が可能なノズルである。吸着ノズル２５１１は、部品を吸着する部品吸着処理を行う。吸着ノズル２５１１は、電動切替弁を介して負圧発生装置、正圧発生装置及び大気の何れかに連通可能とされている。つまり、吸着ノズル２５１１に負圧が供給されることで当該吸着ノズル２５１１による部品の吸着保持が可能となり、その後、正圧が供給されることで当該部品の吸着保持が解除される。各搭載ヘッド２５１は、吸着ノズル２５１１により吸着保持された部品をパターン形成基板ＰＰに搭載する部品搭載処理を、パターン形成基板ＰＰに設定された複数の目標搭載位置の各々に対応して行う。各搭載ヘッド２５１は、パターン形成基板ＰＰに対する部品搭載処理を行うことにより、部品搭載基板ＰＰＡを得る。
[0022]各搭載ヘッド２５１は、ヘッドユニット２５のフレームに対してＺ軸方向（鉛直方向）に昇降可能であるとともに、Ｚ軸方向に延びるヘッド軸回りの回転が可能とされている。各搭載ヘッド２５１は、吸着ノズル２５１１による部品の吸着保持が可能な吸着可能位置と、吸着可能位置に対して上方側の退避位置との間で、Ｚ軸方向に沿って昇降可能である。つまり、吸着ノズル２５１１によって部品を吸着保持するときには、各搭載ヘッド２５１は、退避位置から吸着可能位置へ向かって下降し、当該吸着可能位置において部品を吸着保持する。一方、部品の吸着保持後の各搭載ヘッド２５１は、吸着可能位置から退避位置へ向かって上昇する。更に、各搭載ヘッド２５１は、吸着ノズル２５１１によって吸着保持された部品をパターン形成基板ＰＰ上の予め定められた目標搭載位置に搭載することが可能な搭載可能位置と、前記退避位置との間で、Ｚ軸方向に沿って昇降可能である。
[0023]図２及び図３に示されるように、実装機本体２は、実装撮像部３を更に備える。実装撮像部３は、撮像対象を撮像する撮像動作を行って撮像画像を取得する。実装撮像部３は、第１撮像部３１と、第２撮像部３２と、第３撮像部３３とを含む。
[0024]第１撮像部３１は、本体フレーム２１上において部品供給ユニット２４とコンベア２３との間に設置され、例えばＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ ｍｅｔａｌ－ｏｘｉｄｅ－ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）やＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅｄ－ｃｏｕｐｌｅｄ ｄｅｖｉｃｅ）等の撮像素子を備えた撮像カメラである。第１撮像部３１は、各搭載ヘッド２５１が前記部品搭載処理を実行しているときに、部品供給ユニット２４から基板支持ユニット２８により支持されたパターン形成基板ＰＰへ向かってヘッドユニット２５が移動している間において、各搭載ヘッド２５１の吸着ノズル２５１１によって吸着保持された部品を、下方側から撮像して吸着処理画像Ｇ２４を取得する。
[0025]吸着処理画像Ｇ２４は、吸着ノズル２５１１の吸着保持面に対応した画素群からなる領域と、吸着ノズル２５１１に吸着されている部品に対応した画素群からなる領域とを含む画像である。なお、吸着ノズル２５１１が部品を吸着保持していない場合には、吸着処理画像Ｇ２４は、吸着ノズル２５１１の吸着保持面に対応した画素群からなる領域のみを含み、部品に対応した画素群からなる領域を含まない画像となる。吸着処理画像Ｇ２４は、吸着ノズル２５１１による部品吸着処理の処理状態を示す画像であり、実装機１２において取得される処理状態画像Ｇ２に含まれる。吸着処理画像Ｇ２４は、部品吸着処理の処理状態として、例えば、吸着ノズル２５１１に吸着された部品の姿勢、吸着ノズル２５１１に対する部品の吸着位置のずれ量などを確認することが可能な画像である。吸着処理画像Ｇ２４は、後記の実装制御部４に入力され、データ算出部４６による吸着位置ずれの算出の際に参照される。また、吸着処理画像Ｇ２４は、実装通信部４０を介して管理装置１６に送られる。
[0026]第２撮像部３２は、ヘッドユニット２５に配置され、例えばＣＭＯＳやＣＣＤ等の撮像素子を備えた撮像カメラである。第２撮像部３２は、フィーダー２４Ｆに設定された部品供給位置の直上に吸着ノズル２５１１が位置するようにヘッドユニット２５が配置された状態で、フィーダー２４Ｆの部品供給位置を斜め上方から撮像する。具体的には、第２撮像部３２は、吸着ノズル２５１１が吸着動作を行う前に、フィーダー２４Ｆにより部品供給位置に供給された部品を斜め上方から撮像して第１供給処理画像Ｇ２１を取得する。更に、第２撮像部３２は、フィーダー２４Ｆにより部品供給位置に供給された部品に対して吸着ノズル２５１１が吸着動作を行っている最中の部品供給位置の状態を撮像して、第２供給処理画像Ｇ２２を取得する。また、第２撮像部３２は、吸着ノズル２５１１による吸着動作の終了後における部品供給位置の状態を撮像して、第３供給処理画像Ｇ２３を取得する。
[0027]第１供給処理画像Ｇ２１は、フィーダー２４Ｆの部品供給位置に対応した画素群からなる領域と、部品供給位置に供給された部品に対応した画素群からなる領域とを含む画像である。第２供給処理画像Ｇ２２は、フィーダー２４Ｆの部品供給位置に対応した画素群からなる領域と、部品供給位置に供給された部品に対応した画素群からなる領域と、吸着ノズル２５１１に対応した画素群からなる領域とを含む画像である。第３供給処理画像Ｇ２３は、吸着ノズル２５１１による吸着動作の終了後におけるフィーダー２４Ｆの部品供給位置に対応した画素群からなる領域を含む画像である。第１供給処理画像Ｇ２１、第２供給処理画像Ｇ２２、及び第３供給処理画像Ｇ２３は、フィーダー２４Ｆによる部品供給処理の処理状態を示す画像であり、実装機１２において取得される処理状態画像Ｇ２に含まれる。第１供給処理画像Ｇ２１、第２供給処理画像Ｇ２２、及び第３供給処理画像Ｇ２３は、部品供給処理の処理状態として、例えば、フィーダー２４Ｆの部品供給位置に供給された部品の姿勢、部品供給位置における吸着ノズル２５１１による部品の吸着性などを確認することが可能な画像である。第１供給処理画像Ｇ２１、第２供給処理画像Ｇ２２、及び第３供給処理画像Ｇ２３は、実装通信部４０を介して管理装置１６に送られる。
[0028]また、第２撮像部３２は、部品を吸着保持した吸着ノズル２５１１がパターン形成基板ＰＰに設定された目標搭載位置の直上に位置するようにヘッドユニット２５が配置された状態で、目標搭載位置を斜め上方から撮像する。具体的には、第２撮像部３２は、搭載ヘッド２５１が吸着ノズル２５１１により吸着された部品をパターン形成基板ＰＰに搭載する前に、パターン形成基板ＰＰ上の目標搭載位置を斜め上方から撮像して第１搭載処理画像Ｇ２５を取得する。更に、第２撮像部３２は、搭載ヘッド２５１による部品搭載動作の終了後における目標搭載位置の状態を撮像して、第２搭載処理画像Ｇ２６を取得する。
[0029]第１搭載処理画像Ｇ２５は、パターン形成基板ＰＰ上の目標搭載位置に対応した画素群からなる領域と、当該目標搭載位置の周辺に対応した画素群からなる領域とを含む画像である。第２搭載処理画像Ｇ２６は、搭載ヘッド２５１による部品搭載動作の終了後における目標搭載位置に対応した画素群からなる領域を含む画像である。第１搭載処理画像Ｇ２５及び第２搭載処理画像Ｇ２６は、搭載ヘッド２５１による部品搭載処理の処理状態を示す画像であり、実装機１２において取得される処理状態画像Ｇ２に含まれる。第１搭載処理画像Ｇ２５及び第２搭載処理画像Ｇ２６は、部品搭載処理の処理状態として、例えば、パターン形成基板ＰＰ上の目標搭載位置に搭載された部品の姿勢などを確認することが可能な画像である。第１搭載処理画像Ｇ２５及び第２搭載処理画像Ｇ２６は、実装通信部４０を介して管理装置１６に送られる。
[0030]第３撮像部３３は、ヘッドユニット２５に配置され、例えばＣＭＯＳやＣＣＤ等の撮像素子を備えた撮像カメラである。第３撮像部３３は、各搭載ヘッド２５１が部品搭載処理を実行しているときに、基板支持ユニット２８により支持されたパターン形成基板ＰＰの上面に付設されている各種マークを認識するために、当該マークを上方側から撮像する。第３撮像部３３によるパターン形成基板ＰＰ上のマークの認識によって、パターン形成基板ＰＰの原点座標に対する位置ずれ量が検知される。
[0031]実装記憶部４０Ｍは、実装制御部４によって参照される基板データＤ２５を記憶する。基板データＤ２５は、実装制御部４による実装機本体２の部品搭載処理等の制御に必要な複数のパラメータ情報Ｄ２と、目標吸着位置情報ＤＡＰと、目標搭載位置情報ＤＰＰとによって構成されるデータである。パラメータ情報Ｄ２は、部品情報Ｄ２１と、ヘッド情報Ｄ２２と、ノズル情報Ｄ２３と、フィーダー情報Ｄ２４とを含む。
[0032]部品情報Ｄ２１には、部品の種別を特定するためのパラメータとして、部品の種類を示す部品名、部品のＸ軸方向及びＹ軸方向の外形寸法、部品の厚みなどが登録されている。ヘッド情報Ｄ２２は、搭載ヘッド２５１の種別を特定するためのパラメータが登録された情報である。ヘッド情報Ｄ２２には、搭載ヘッド２５１の種別を特定するためのパラメータとして、搭載ヘッド２５１の番号などが登録されている。ノズル情報Ｄ２３は、吸着ノズル２５１１の種別を特定するためのパラメータが登録された情報である。ノズル情報Ｄ２３には、吸着ノズル２５１１の種別を特定するためのパラメータとして、吸着ノズル２５１１の種類、吸着ノズル２５１１の識別子などが登録されている。フィーダー情報Ｄ２４は、フィーダー２４Ｆの種別を特定するためのパラメータが登録された情報である。フィーダー情報Ｄ２４には、フィーダー２４Ｆの種別を特定するためのパラメータとして、フィーダー２４Ｆの種類、フィーダー２４Ｆの部品供給ユニット２４におけるセット位置などが登録されている。
[0033]目標吸着位置情報ＤＡＰは、吸着ノズル２５１１による部品の吸着時における目標の吸着位置（目標吸着位置）がパラメータとして登録された情報である。目標吸着位置情報ＤＡＰには、吸着ノズル２５１１に対する部品の目標吸着位置のＸ軸方向及びＹ軸方向の各座標がパラメータとして登録されている。目標吸着位置は、通常、部品の被吸着面上の中心位置に設定される。目標搭載位置情報ＤＰＰは、パターン形成基板ＰＰに設定された部品の目標搭載位置がパラメータとして登録された情報である。目標搭載位置情報ＤＰＰには、パターン形成基板ＰＰ上における目標搭載位置のＸ軸方向及びＹ軸方向の各座標がパラメータとして登録されている。
[0034]実装制御部４は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、制御プログラムを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＣＰＵの作業領域として使用されるＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等から構成されている。実装制御部４は、ＣＰＵがＲＯＭに記憶された制御プログラムを実行することにより、実装機本体２の各構成要素の動作を制御するとともに、実装通信部４０のデータ通信動作を制御し、更には各種演算処理を実行する。実装制御部４は、実装記憶部４０Ｍに記憶された基板データＤ２５に従って実装機本体２の各構成要素の動作を制御する。図２に示されるように、実装制御部４は、主たる機能構成として、通信制御部４１と、基板搬送制御部４２と、部品供給制御部４３と、ヘッド制御部４４と、撮像制御部４５と、データ算出部４６とを含む。
[0035]通信制御部４１は、実装通信部４０を制御することにより、実装機１２と管理装置１６との間のデータ通信を制御する。通信制御部４１によって制御された実装通信部４０は、後記のデータ算出部４６によって取得される吸着位置ずれデータＤ１、吸着レベルデータＤ３及び吸着状態データＤ４と、実装記憶部４０Ｍに記憶された基板データＤ２５に含まれるパラメータ情報Ｄ２と、第１撮像部３１及び第２撮像部３２により取得された処理状態画像Ｇ２と、を管理装置１６に送る。なお、実装通信部４０を介して管理装置１６に送られるパラメータ情報Ｄ２は、部品情報Ｄ２１、ヘッド情報Ｄ２２、ノズル情報Ｄ２３及びフィーダー情報Ｄ２４から構成されている。また、実装通信部４０を介して管理装置１６に送られる処理状態画像Ｇ２は、第１供給処理画像Ｇ２１、第２供給処理画像Ｇ２２、第３供給処理画像Ｇ２３、吸着処理画像Ｇ２４、第１搭載処理画像Ｇ２５、及び第２搭載処理画像Ｇ２６から構成されている。
[0036]詳細については後述するが、吸着位置ずれデータＤ１、吸着レベルデータＤ３及び吸着状態データＤ４は、搭載ヘッド２５１による部品搭載処理毎にデータ算出部４６によって取得されるデータである。搭載ヘッド２５１による１回の部品搭載処理の実行時においては、複数種の部品の中から１種の部品が使用され、複数の搭載ヘッド２５１の中から１つの搭載ヘッド２５１が使用され、複数の吸着ノズル２５１１の中から１つの吸着ノズル２５１１が使用され、複数のフィーダー２４Ｆの中から１つのフィーダー２４Ｆが使用される。つまり、搭載ヘッド２５１による部品搭載処理毎に、使用される部品、搭載ヘッド２５１、吸着ノズル２５１１、及びフィーダー２４Ｆが一義的に決まる。更には、搭載ヘッド２５１による部品搭載処理毎に、第１撮像部３１及び第２撮像部３２により各処理状態画像Ｇ２が取得される。このため、搭載ヘッド２５１による部品搭載処理毎にデータ算出部４６によって取得される吸着位置ずれデータＤ１、吸着レベルデータＤ３及び吸着状態データＤ４と、各パラメータ情報Ｄ２と、各処理状態画像Ｇ２とは、互いに関連付けられたものとなる。
[0037]基板搬送制御部４２は、コンベア２３によるパターン形成基板ＰＰの搬送動作を制御する。部品供給制御部４３は、基板データＤ２５の部品情報Ｄ２１及びフィーダー情報Ｄ２４に従って、部品供給ユニット２４に配列された複数のフィーダー２４Ｆの各々の部品供給処理を制御する。ヘッド制御部４４は、基板データＤ２５の部品情報Ｄ２１、ヘッド情報Ｄ２２、ノズル情報Ｄ２３、目標吸着位置情報ＤＡＰ、及び目標搭載位置情報ＤＰＰに従って、ヘッドユニット２５を制御することにより搭載ヘッド２５１を制御する。これにより、ヘッド制御部４４は、吸着ノズル２５１１により吸着保持された部品をパターン形成基板ＰＰに搭載する部品搭載処理を、パターン形成基板ＰＰに設定された複数の目標搭載位置の各々に対応して、搭載ヘッド２５１に実行させる。撮像制御部４５は、実装撮像部３を構成する第１撮像部３１、第２撮像部３２及び第３撮像部３３による撮像動作を制御する。
[0038]データ算出部４６は、第１撮像部３１によって取得された吸着処理画像Ｇ２４に基づいて、吸着ノズル２５１１による部品の実吸着位置を認識し、認識した実吸着位置の、目標吸着位置情報ＤＡＰで示される目標吸着位置に対する位置ずれを算出する。そして、データ算出部４６は、実吸着位置と目標吸着位置との間の位置ずれの量を示す吸着位置ずれデータＤ１を、搭載ヘッド２５１による部品搭載処理毎に取得する。このデータ算出部４６により取得される吸着位置ずれデータＤ１は、部品吸着処理における吸着ノズル２５１１に対する部品の吸着位置のずれ量を示すデータとなる。
[0039]また、データ算出部４６は、吸着ノズル２５１１に接続された負圧発生装置の負圧レベルのデータを、部品吸着処理における吸着ノズル２５１１による部品の吸着レベルを示す吸着レベルデータＤ３として取得する。この際、データ算出部４６は、搭載ヘッド２５１による部品搭載処理毎に吸着レベルデータＤ３を取得する。
[0040]また、データ算出部４６は、吸着ノズル２５１１に接続された負圧発生装置の負圧レベルのデータに基づいて、部品吸着処理における吸着ノズル２５１１による部品の吸着状態が正常であるか否かを示す吸着状態データＤ４を、搭載ヘッド２５１による部品搭載処理毎に取得する。吸着ノズル２５１１による部品吸着処理の処理中に、負圧発生装置の負圧レベルが許容範囲内に収まっている場合には、データ算出部４６は、吸着ノズル２５１１による部品の吸着状態が正常であることを示す吸着正常情報が付加された吸着状態データＤ４を取得する。一方、負圧発生装置の負圧レベルが許容範囲から外れている場合には、データ算出部４６は、吸着ノズル２５１１による部品の吸着状態が正常ではなく異常であることを示す吸着異常情報が付加された吸着状態データＤ４を取得する。
[0041]データ算出部４６によって取得された部品搭載処理毎の各吸着位置ずれデータＤ１、各吸着レベルデータＤ３、及び各吸着状態データＤ４は、各パラメータ情報Ｄ２及び各処理状態画像Ｇ２と関連付けられた状態で、実装通信部４０を介して管理装置１６に送られる。
[0042]図１に戻って、搭載ヘッド２５１の部品搭載処理により得られた部品搭載基板ＰＰＡは、搭載検査装置１３に搬入される。搭載検査装置１３は、部品搭載基板ＰＰＡの画像を示す搭載基板画像Ｇ３に基づいて、部品搭載基板ＰＰＡを検査するための装置である。この搭載検査装置１３について、図１に加えて図５を参照しながら説明する。搭載検査装置１３は、検査通信部１３１と、検査撮像部１３２と、検査制御部１３３とを備える。
[0043]検査通信部１３１は、管理装置１６とデータ通信を行うためのインターフェースであり、各種のデータ及び情報を管理装置１６に向けて出力する機能を有する。検査通信部１３１は、後記のデータ算出部１３３３によって取得される搭載位置ずれデータＤ５と、検査撮像部１３２によって取得される搭載基板画像Ｇ３と、を管理装置１６に送る。
[0044]検査撮像部１３２は、例えばＣＭＯＳやＣＣＤ等の撮像素子を備えた撮像カメラである。検査撮像部１３２は、実装機１２から搬送された部品搭載基板ＰＰＡを上方から撮像して搭載基板画像Ｇ３を取得する。搭載基板画像Ｇ３は、部品搭載基板ＰＰＡ上の部品に対応した画素群からなる領域を含む画像である。搭載基板画像Ｇ３は、例えば、実装機１２から搬出された後の部品搭載基板ＰＰＡ上における部品の姿勢、部品の搭載位置のずれ量などを確認することが可能な画像である。
[0045]検査制御部１３３は、ＣＰＵ、制御プログラムを記憶するＲＯＭ、ＣＰＵの作業領域として使用されるＲＡＭ等から構成されている。検査制御部１３３は、ＣＰＵがＲＯＭに記憶された制御プログラムを実行することにより、検査通信部１３１及び検査撮像部１３２を制御するとともに、各種演算処理を実行する。検査制御部１３３は、主たる機能構成として、通信制御部１３３１と、撮像制御部１３３２と、データ算出部１３３３とを含む。
[0046]通信制御部１３３１は、検査通信部１３１を制御することにより、搭載検査装置１３と管理装置１６との間のデータ通信を制御する。撮像制御部１３３２は、検査撮像部１３２による撮像動作を制御する。
[0047]データ算出部１３３３は、検査撮像部１３２によって取得された搭載基板画像Ｇ３に基づいて、部品搭載基板ＰＰＡにおける複数の部品の各々の実際の搭載位置（実搭載位置）を認識し、認識した複数の実搭載位置と、目標搭載位置情報ＤＰＰで示される複数の目標搭載位置との各々の位置ずれをそれぞれ算出する。そして、データ算出部１３３３は、実搭載位置と目標搭載位置との間の位置ずれの量を示す搭載位置ずれデータＤ５を、パターン形成基板ＰＰに設定された複数の目標搭載位置毎に取得する。このデータ算出部１３３３により取得される搭載位置ずれデータＤ５は、搭載ヘッド２５１による部品搭載処理におけるパターン形成基板ＰＰに対する部品の搭載位置のずれ量を示すデータとなる。
[0048]データ算出部１３３３によって取得された搭載位置ずれデータＤ５は、検査撮像部１３２によって取得された搭載基板画像Ｇ３と関連付けられた状態で、検査通信部１３１を介して管理装置１６に送られる。
[0049]図１に戻って、搭載検査装置１３による検査後の部品搭載基板ＰＰＡは、リフロー装置１４に搬入される。リフロー装置１４は、部品搭載基板ＰＰＡ上の半田を溶融させた後に硬化させるリフロー処理を行うことで、リフロー基板ＰＰＢを得るための装置である。
[0050]リフロー装置１４により得られたリフロー基板ＰＰＢは、リフロー検査装置１５に搬入される。リフロー検査装置１５は、リフロー基板ＰＰＢを撮像する撮像部を備えている。リフロー検査装置１５は、撮像部の撮像によって得られたリフロー基板ＰＰＢの画像を示すリフロー基板画像Ｇ４に基づいて、当該リフロー基板ＰＰＢを検査する。リフロー基板画像Ｇ４は、リフロー基板ＰＰＢ上における部品に対応した画素群からなる領域を含む画像である。リフロー基板画像Ｇ４は、例えば、リフロー処理後のリフロー基板ＰＰＢ上における部品の姿勢などを確認することが可能な画像である。リフロー検査装置１４は、リフロー基板画像Ｇ４に所定の画像処理を施すことにより、リフロー基板ＰＰＢ上における部品の状態などを検査する。
[0051]管理装置１６は、パターン検査装置１１、実装機１２、搭載検査装置１３、及びリフロー検査装置１５とデータ通信可能に接続され、例えばマイクロコンピュータによって構成される。管理装置１６には、パターン検査装置１１からのパターン基板画像Ｇ１が入力されるとともに、実装機１２からの吸着位置ずれデータＤ１、パラメータ情報Ｄ２、吸着レベルデータＤ３、吸着状態データＤ４、及び処理状態画像Ｇ２が入力される。また、管理装置１６には、搭載検査装置１３からの搭載位置ずれデータＤ５及び搭載基板画像Ｇ３が入力されるとともに、リフロー検査装置１５からのリフロー基板画像Ｇ４が入力される。管理装置１６は、オペレータによって操作される。
[0052]管理装置１６の構成について、図６のブロック図を参照しながら説明する。管理装置１６は、管理通信部１６１と、管理表示部１６２と、管理操作部１６３と、管理記憶部１６４と、管理制御部１６５とを備える。
[0053]管理通信部１６１は、パターン検査装置１１、実装機１２、搭載検査装置１３、及びリフロー検査装置１５とデータ通信を行うためのインターフェースである。管理通信部１６１は、パターン基板画像Ｇ１をパターン検査装置１１から取得するとともに、吸着位置ずれデータＤ１、パラメータ情報Ｄ２、吸着レベルデータＤ３、吸着状態データＤ４、及び処理状態画像Ｇ２を実装機１２から取得する。更に、管理通信部１６１は、搭載位置ずれデータＤ５及び搭載基板画像Ｇ３を搭載検査装置１３から取得するとともに、リフロー基板画像Ｇ４をリフロー検査装置１５から取得する。
[0054]管理記憶部１６４は、管理通信部１６１により取得された各種データ、情報及び画像を蓄積して記憶する。管理記憶部１６４は、吸着位置ずれデータＤ１、パラメータ情報Ｄ２、吸着レベルデータＤ３、吸着状態データＤ４、搭載位置ずれデータＤ５、パターン基板画像Ｇ１、処理状態画像Ｇ２、搭載基板画像Ｇ３、及びリフロー基板画像Ｇ４をそれぞれ関連付けた管理データＤＭを蓄積して記憶する。
[0055]管理表示部１６２は、例えば液晶ディスプレイ等によって構成される。管理表示部１６２は、管理記憶部１６４に記憶される管理データＤＭの情報を表示する。管理表示部１６２の表示動作は、管理制御部１６５によって制御される。
[0056]管理操作部１６３は、キーボード、マウス、または、管理表示部１６２に設けられたタッチパネル等によって構成される。管理操作部１６３は、オペレータによる管理表示部１６２の表示形態に関する各種指令の入力操作を受け付ける。
[0057]管理制御部１６５は、管理操作部１６３に入力された指令に応じて管理表示部１６２を制御する。
[0058]吸着ノズル２５１１に対する部品の吸着位置の位置ずれ状況を表示させる吸着ずれ表示指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、図７に示されるような表示画面ＤＳ１を管理表示部１６２に表示させる。具体的には、管理制御部１６５は、管理記憶部１６４に蓄積して記憶された各管理データＤＭに基づいて、各管理データＤＭに含まれる各吸着位置ずれデータＤ１で構成されるデータ群の分布を示す吸着位置ずれ分布ＡＤを管理表示部１６２の表示画面ＤＳ１に表示させる。吸着位置ずれ分布ＡＤは、例えば、各吸着位置ずれデータＤ１で示される吸着ノズル２５１１に対する部品の実吸着位置の目標吸着位置に対する位置ずれ量について、Ｘ座標及びＹ座標の位置ずれの分布を示す「ＸＹずれ分布」で表される。
[0059]オペレータは、管理表示部１６２に表示された吸着位置ずれ分布ＡＤに基づいて、吸着ノズル２５１１による部品の実吸着位置の位置ずれの発生状況を視覚的に確認することができる。
[0060]この際、管理制御部１６５は、各吸着位置ずれデータＤ１で構成されるデータ群の統計を示す吸着位置ずれ統計情報ＡＳＴが、吸着位置ずれ分布ＡＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御してもよい。吸着位置ずれ統計情報ＡＳＴは、各吸着位置ずれデータＤ１で構成されるデータ群について、位置ずれ量の平均、データの散らばりの大きさの指標となる分散や標準偏差（３σ）、位置ずれ量の最大や最小、などの情報を含む。このような吸着位置ずれ統計情報ＡＳＴには、吸着位置ずれ量の許容範囲の上限値及び下限値や、工程能力指標となるＣＰ及びＣＰＫなどの情報が関連付けられていてもよい。
[0061]また、管理制御部１６５は、管理操作部１６３を介した入力操作が可能な日付選択領域Ｂ１、Ｌｉｎｅ選択領域Ｂ２、部品選択領域Ｂ３、ヘッド選択領域Ｂ４、ノズル選択領域Ｂ５、及びフィーダー選択領域Ｂ６が表示画面ＤＳ１に設定されるように、管理表示部１６２を制御する。
[0062]オペレータは、管理操作部１６３を用いて日付選択領域Ｂ１を操作することによって、吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する各吸着位置ずれデータＤ１の、実装制御部４のデータ算出部４６による取得日又は取得期間を選択することができる。例えば、日付選択領域Ｂ１に対する入力操作によって所定の日付又は期間が選択された場合、管理制御部１６５は、当該所定日又は所定期間において実装制御部４のデータ算出部４６によって取得された各吸着位置ずれデータＤ１で構成されるデータ群の分布を示す吸着位置ずれ分布ＡＤを、管理表示部１６２に表示させる。
[0063]また、オペレータは、管理操作部１６３を用いてＬｉｎｅ選択領域Ｂ２を操作することによって、吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する各吸着位置ずれデータＤ１の出力元となる実装機１２の選択などを行うことができる。例えば、Ｌｉｎｅ選択領域Ｂ２に対する入力操作によって所定の実装機１２が選択された場合、管理制御部１６５は、当該所定の実装機１２の実装通信部４０から出力された各吸着位置ずれデータＤ１で構成されるデータ群の分布を示す吸着位置ずれ分布ＡＤを、管理表示部１６２に表示させる。
[0064]表示画面ＤＳ１に設定された部品選択領域Ｂ３、ヘッド選択領域Ｂ４、ノズル選択領域Ｂ５、及びフィーダー選択領域Ｂ６は、吸着位置ずれデータＤ１と関連付けられたパラメータ情報Ｄ２を構成する部品情報Ｄ２１、ヘッド情報Ｄ２２、ノズル情報Ｄ２３、及びフィーダー情報Ｄ２４の中から一のパラメータ情報を選択する指令を入力するための領域である。オペレータは、管理操作部１６３を用いて部品選択領域Ｂ３を操作することによって、パラメータ情報Ｄ２の中から部品情報Ｄ２１を選択する指令を入力することができる。同様に、オペレータは、管理操作部１６３を用いてヘッド選択領域Ｂ４を操作することによって、パラメータ情報Ｄ２の中からヘッド情報Ｄ２２を選択する指令を入力することができる。また、オペレータは、管理操作部１６３を用いてノズル選択領域Ｂ５を操作することによって、パラメータ情報Ｄ２の中からノズル情報Ｄ２３を選択する指令を入力することができる。また、オペレータは、管理操作部１６３を用いてフィーダー選択領域Ｂ６を操作することによって、パラメータ情報Ｄ２の中からフィーダー情報Ｄ２４を選択する指令を入力することができる。
[0065]管理制御部１６５は、パラメータ情報Ｄ２の中から選択される一の情報に着目した吸着位置ずれ分布ＡＤを、パラメータの選択の変更に応じて切り替え可能に管理表示部１６２に表示させる。具体的には、管理制御部１６５は、パラメータ情報Ｄ２の中から部品情報Ｄ２１を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、部品情報Ｄ２１で特定される部品に着目した吸着位置ずれ分布ＡＤが表示されるように、管理表示部１６２を制御する。同様に、パラメータ情報Ｄ２の中からヘッド情報Ｄ２２を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、ヘッド情報Ｄ２２で特定される搭載ヘッド２５１に着目した吸着位置ずれ分布ＡＤが表示されるように、管理表示部１６２を制御する。また、パラメータ情報Ｄ２の中からノズル情報Ｄ２３を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、ノズル情報Ｄ２３で特定される吸着ノズル２５１１に着目した吸着位置ずれ分布ＡＤが表示されるように、管理表示部１６２を制御する。また、パラメータ情報Ｄ２の中からフィーダー情報Ｄ２４を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、フィーダー情報Ｄ２４で特定されるフィーダー２４Ｆに着目した吸着位置ずれ分布ＡＤが表示されるように、管理表示部１６２を制御する。
[0066]ここで、吸着位置ずれ分布ＡＤの吸着位置ずれデータＤ１と関連付けられたパラメータ情報Ｄ２を構成する部品情報Ｄ２１、ヘッド情報Ｄ２２、ノズル情報Ｄ２３及びフィーダー情報Ｄ２４の各々によって特定される部品、搭載ヘッド２５１、吸着ノズル２５１１及びフィーダー２４Ｆは、吸着ノズル２５１１による部品の吸着位置ずれの発生要因となり得る。つまり、フィーダー２４Ｆによって供給された部品の姿勢や部品の形状は、吸着ノズル２５１１による部品の吸着保持性に影響を与える。また、吸着ノズル２５１１及び搭載ヘッド２５１の動作特性や経年劣化の状況についても、吸着ノズル２５１１による部品の吸着保持性に影響を与える。
[0067]そこで、管理制御部１６５による管理表示部１６２の制御に基づいて、パラメータ情報Ｄ２の中から管理操作部１６３を介して選択された一の情報に着目した吸着位置ずれ分布ＡＤが管理表示部１６２に表示される。これにより、オペレータは、吸着ノズル２５１１による部品の吸着位置ずれの発生状況を視覚的に確認しつつ、吸着位置ずれの発生要因を特定することが可能となる。
[0068]また、吸着位置ずれ分布ＡＤにおいて、吸着ノズル２５１１に対する部品の吸着位置のずれ量の許容範囲を示す吸着ずれ許容範囲ＡＡＴを超える吸着位置ずれデータＤ１が存在する場合を想定する。この場合、管理制御部１６５は、吸着ずれ許容範囲ＡＡＴを超えた吸着位置ずれデータＤ１がそれ以外の位置ずれデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部１６２を制御してもよい。例えば、管理制御部１６５は、吸着ずれ許容範囲ＡＡＴを超えた吸着位置ずれデータＤ１のプロットの表示色が他の位置ずれデータの表示色とは異なるように、管理表示部１６２を制御する。
[0069]図７に示されるように、吸着位置ずれ分布ＡＤが管理表示部１６２に表示された状態で、吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する吸着位置ずれデータＤ１のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータＤ１Ｓを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合を想定する。この場合、管理制御部１６５は、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した処理状態画像Ｇ２を構成する第１供給処理画像Ｇ２１、第２供給処理画像Ｇ２２、第３供給処理画像Ｇ２３、吸着処理画像Ｇ２４、第１搭載処理画像Ｇ２５及び第２搭載処理画像Ｇ２６を含む画像群ＧＧが吸着位置ずれ分布ＡＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。図７では、吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する吸着位置ずれデータＤ１のデータ群の中から所定の選択領域ＰＲに含まれる２つの特定の位置ずれデータＤ１Ｓが選択された例が示されている。この場合、管理制御部１６５は、２つの特定の位置ずれデータＤ１Ｓの各々に対応した２組の画像群ＧＧが吸着位置ずれ分布ＡＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。
[0070]処理状態画像Ｇ２を構成する各画像は、吸着位置ずれデータＤ１と関連付けられた画像であって、フィーダー２４Ｆの部品供給処理、吸着ノズル２５１１の部品吸着処理、及び搭載ヘッド２５１の部品搭載処理の各処理の処理状態を示す画像である。オペレータは、管理操作部１６３を介した特定の位置ずれデータＤ１Ｓの選択指令に応じて管理表示部１６２に吸着位置ずれ分布ＡＤと同時に表示される処理状態画像Ｇ２を構成する各画像を確認することにより、部品供給処理、部品吸着処理、及び部品搭載処理の各処理の吸着位置ずれに与える影響を的確に把握することができる。このため、オペレータは、吸着位置ずれの発生要因をより的確に特定することが可能となる。オペレータは、吸着位置ずれの発生要因を特定した後、当該発生要因に対して適切な対策を講じることができ、これによって吸着位置ずれに起因したパターン形成基板ＰＰ上における部品の搭載位置の位置ずれの不良を解消することができる。
[0071]吸着位置ずれの発生要因として部品が特定された場合、オペレータは、例えば、基板データＤ２５の部品情報Ｄ２１に登録されている部品の外形寸法などのパラメータの入力値を確認する。そして、オペレータは、部品情報Ｄ２１のパラメータが誤入力されている場合などに、吸着位置ずれの発生要因に対する対策として、部品情報Ｄ２１のデータを変更するデータ変更作業を行う。
[0072]吸着位置ずれの発生要因として搭載ヘッド２５１が特定された場合、オペレータは、例えば、吸着ノズル２５１１による部品の吸着時における、搭載ヘッド２５１の下降位置として設定された吸着可能位置が適正であるかを確認する。そして、オペレータは、搭載ヘッド２５１に設定された吸着可能位置が適正ではない場合などに、吸着位置ずれの発生要因に対する対策として、搭載ヘッド２５１に設定された吸着可能位置を調整する作業を行う。また、搭載ヘッド２５１に経年劣化が認められた場合には、オペレータは、搭載ヘッド２５１を交換する作業などを行う。
[0073]吸着位置ずれの発生要因として吸着ノズル２５１１が特定された場合、オペレータは、例えば、吸着位置ずれの発生要因に対する対策として、吸着ノズル２５１１の洗浄や交換などの作業を行う。
[0074]吸着位置ずれの発生要因としてフィーダー２４Ｆが特定された場合、オペレータは、例えば、吸着位置ずれの発生要因に対する対策として、フィーダー２４Ｆを交換する作業などを行う。
[0075]また、本実施形態では、特定の位置ずれデータＤ１Ｓを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、処理状態画像Ｇ２を構成する各画像に加えて搭載基板画像Ｇ３を含む画像群ＧＧが吸着位置ずれ分布ＡＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。オペレータは、管理表示部１６２に吸着位置ずれ分布ＡＤと同時に表示される処理状態画像Ｇ２及び搭載基板画像Ｇ３を確認することにより、吸着ノズル２５１１による部品の吸着位置の位置ずれが、パターン形成基板ＰＰ上における部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを確認することができる。また、オペレータは、処理状態画像Ｇ２を構成する各画像と搭載基板画像Ｇ３とを比較することで、実装機１２から搬出された部品搭載基板ＰＰＡが搭載検査装置１３に向けて搬送される途中で、部品の位置ずれが生じたか否かを確認することもできる。
[0076]更に、本実施形態では、特定の位置ずれデータＤ１Ｓを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、処理状態画像Ｇ２及び搭載基板画像Ｇ３に加えてパターン基板画像Ｇ１、リフロー基板画像Ｇ４を含む画像群ＧＧが吸着位置ずれ分布ＡＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。オペレータは、管理表示部１６２に吸着位置ずれ分布ＡＤと同時に表示されるパターン基板画像Ｇ１を確認することにより、半田ペーストのパターンの形成状況が吸着位置ずれに与える影響を確認することができる。また、オペレータは、管理表示部１６２に吸着位置ずれ分布ＡＤと同時に表示されるリフロー基板画像Ｇ４を確認することにより、リフロー処理後のリフロー基板ＰＰＢにおける部品の位置ずれ状況などを確認することができる。
[0077]部品搭載基板ＰＰＡにおける部品の搭載位置の位置ずれ状況を表示させる搭載ずれ表示指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、図８に示されるような表示画面ＤＳ２を管理表示部１６２に表示させる。具体的には、管理制御部１６５は、管理記憶部１６４に蓄積して記憶された各管理データＤＭに基づいて、各管理データＤＭに含まれる各搭載位置ずれデータＤ５で構成されるデータ群の分布を示す搭載位置ずれ分布ＰＤを管理表示部１６２の表示画面ＤＳ２に表示させる。搭載位置ずれ分布ＰＤは、例えば、各搭載位置ずれデータＤ５で示される部品搭載基板ＰＰＡにおける部品の実搭載位置の目標搭載位置に対する位置ずれ量について、Ｘ座標及びＹ座標の位置ずれの分布を示す「ＸＹずれ分布」で表される。
[0078]オペレータは、管理表示部１６２に表示された搭載位置ずれ分布ＰＤに基づいて、実装機１により生産された部品搭載基板ＰＰＳにおける、部品の実搭載位置の位置ずれの発生状況を視覚的に確認することができる。また、オペレータは、管理表示部１６２に表示される上記の吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとを比較することにより、吸着ノズル２５１１による部品の実吸着位置の位置ずれが、部品搭載基板ＰＰＡ上における部品の実搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを確認することができる。
[0079]この際、管理制御部１６５は、各搭載位置ずれデータＤ５で構成されるデータ群の統計を示す搭載位置ずれ統計情報ＰＳＴが、搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御してもよい。
[0080]また、管理制御部１６５は、管理操作部１６３を介した入力操作が可能な日付選択領域Ｂ１、Ｌｉｎｅ選択領域Ｂ２、部品選択領域Ｂ３、ヘッド選択領域Ｂ４、ノズル選択領域Ｂ５、及びフィーダー選択領域Ｂ６が表示画面ＤＳ２に設定されるように、管理表示部１６２を制御する。オペレータは、管理操作部１６３を用いて日付選択領域Ｂ１を操作することによって、搭載位置ずれ分布ＰＤを構成する各搭載位置ずれデータＤ５の、検査制御部１３３のデータ算出部１３３３による取得日又は取得期間を選択することができる。また、オペレータは、管理操作部１６３を用いてＬｉｎｅ選択領域Ｂ２を操作することによって、搭載位置ずれ分布ＰＤを構成する各搭載位置ずれデータＤ５に対応した実装機１２の選択などを行うことができる。表示画面ＤＳ２に設定された部品選択領域Ｂ３、ヘッド選択領域Ｂ４、ノズル選択領域Ｂ５、及びフィーダー選択領域Ｂ６は、上記の表示画面ＤＳ１の場合と同様に、搭載位置ずれデータＤ５と関連付けられたパラメータ情報Ｄ２を構成する部品情報Ｄ２１、ヘッド情報Ｄ２２、ノズル情報Ｄ２３、及びフィーダー情報Ｄ２４の中から一のパラメータ情報を選択する指令を入力するための領域である。
[0081]管理制御部１６５は、パラメータ情報Ｄ２の中から選択される一の情報に着目した搭載位置ずれ分布ＰＤを、パラメータの選択の変更に応じて切り替え可能に管理表示部１６２に表示させる。具体的には、管理制御部１６５は、パラメータ情報Ｄ２の中から部品情報Ｄ２１を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、部品情報Ｄ２１で特定される部品に着目した搭載位置ずれ分布ＰＤが表示されるように、管理表示部１６２を制御する。同様に、パラメータ情報Ｄ２の中からヘッド情報Ｄ２２を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、ヘッド情報Ｄ２２で特定される搭載ヘッド２５１に着目した搭載位置ずれ分布ＰＤが表示されるように、管理表示部１６２を制御する。また、パラメータ情報Ｄ２の中からノズル情報Ｄ２３を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、ノズル情報Ｄ２３で特定される吸着ノズル２５１１に着目した搭載位置ずれ分布ＰＤが表示されるように、管理表示部１６２を制御する。また、パラメータ情報Ｄ２の中からフィーダー情報Ｄ２４を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、フィーダー情報Ｄ２４で特定されるフィーダー２４Ｆに着目した搭載位置ずれ分布ＰＤが表示されるように、管理表示部１６２を制御する。
[0082]このように、管理制御部１６５による管理表示部１６２の制御に基づいて、パラメータ情報Ｄ２の中から管理操作部１６３を介して選択された一の情報に着目した搭載位置ずれ分布ＰＤが管理表示部１６２に表示される。これにより、オペレータは、部品搭載基板ＰＰＡにおける部品の搭載位置ずれの発生状況を視覚的に確認しつつ、搭載位置ずれの発生要因を特定することが可能となる。
[0083]また、搭載位置ずれ分布ＰＤにおいて、部品搭載基板ＰＰＡにおける部品の搭載位置のずれ量の許容範囲を示す搭載ずれ許容範囲ＰＡＴを超える搭載位置ずれデータＤ５が存在する場合を想定する。この場合、管理制御部１６５は、搭載ずれ許容範囲ＰＡＴを超えた搭載位置ずれデータＤ５がそれ以外の位置ずれデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部１６２を制御してもよい。例えば、管理制御部１６５は、搭載ずれ許容範囲ＰＡＴを超えた搭載位置ずれデータＤ５のプロットの表示色が他の位置ずれデータの表示色とは異なるように、管理表示部１６２を制御する。
[0084]図８に示されるように、搭載位置ずれ分布ＰＤが管理表示部１６２に表示された状態で、搭載位置ずれ分布ＰＤを構成する搭載位置ずれデータＤ５のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータＤ５Ｓを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合を想定する。この場合、管理制御部１６５は、特定の位置ずれデータＤ５Ｓに対応した処理状態画像Ｇ２を構成する第１供給処理画像Ｇ２１、第２供給処理画像Ｇ２２、第３供給処理画像Ｇ２３、吸着処理画像Ｇ２４、第１搭載処理画像Ｇ２５及び第２搭載処理画像Ｇ２６と、搭載基板画像Ｇ３とを含む画像群ＧＧが搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。図８では、搭載位置ずれ分布ＰＤを構成する搭載位置ずれデータＤ５のデータ群の中から所定の選択領域ＰＲに含まれる２つの特定の位置ずれデータＤ５Ｓが選択された例が示されている。この場合、管理制御部１６５は、２つの特定の位置ずれデータＤ５Ｓの各々に対応した２組の画像群ＧＧが搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。
[0085]オペレータは、管理操作部１６３を介した特定の位置ずれデータＤ５Ｓの選択指令に応じて管理表示部１６２に搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示される処理状態画像Ｇ２を構成する各画像と搭載基板画像Ｇ３とを確認することにより、吸着ノズル２５１１による部品の吸着位置の位置ずれが、部品搭載基板ＰＰＡにおける部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを確認することができる。
[0086]また、本実施形態では、特定の位置ずれデータＤ５Ｓを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、処理状態画像Ｇ２及び搭載基板画像Ｇ３に加えてパターン基板画像Ｇ１、リフロー基板画像Ｇ４を含む画像群ＧＧが搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。オペレータは、管理表示部１６２に搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるパターン基板画像Ｇ１を確認することにより、半田ペーストのパターンの形成状況が搭載位置ずれに与える影響を確認することができる。また、オペレータは、管理表示部１６２に搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるリフロー基板画像Ｇ４を確認することにより、リフロー処理後のリフロー基板ＰＰＢにおける部品の位置ずれ状況などを確認することができる。
[0087]吸着位置及び搭載位置の各位置ずれ状況を同時に表示させる同時表示指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、図９に示されるような表示画面ＤＳ３を管理表示部１６２に表示させる。具体的には、管理制御部１６５は、管理記憶部１６４に蓄積して記憶された各管理データＤＭに基づいて、各管理データＤＭに含まれる各吸着位置ずれデータＤ１の吸着位置ずれ分布ＡＤと、各管理データＤＭに含まれる各搭載位置ずれデータＤ５の搭載位置ずれ分布ＰＤとを、管理表示部１６２の表示画面ＤＳ３に同時に表示させる。オペレータは、管理表示部１６２に表示された情報に基づいて、吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとの比較を容易に行うことができる。このため、オペレータは、吸着ノズル２５１１による部品の吸着位置の位置ずれが、部品搭載基板ＰＰＡ上における部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを、容易に確認することができる。
[0088]この際、管理制御部１６５は、吸着位置ずれ統計情報ＡＳＴ及び搭載位置ずれ統計情報ＰＳＴが、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御してもよい。
[0089]また、管理制御部１６５は、管理操作部１６３を介した入力操作が可能な日付選択領域Ｂ１、Ｌｉｎｅ選択領域Ｂ２、部品選択領域Ｂ３、ヘッド選択領域Ｂ４、ノズル選択領域Ｂ５、及びフィーダー選択領域Ｂ６が表示画面ＤＳ３に設定されるように、管理表示部１６２を制御する。オペレータは、管理操作部１６３を用いて日付選択領域Ｂ１を操作することによって、吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する各吸着位置ずれデータＤ１、搭載位置ずれ分布ＰＤを構成する各搭載位置ずれデータＤ５の取得日又は取得期間を選択することができる。また、オペレータは、管理操作部１６３を用いてＬｉｎｅ選択領域Ｂ２を操作することによって、吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する各吸着位置ずれデータＤ１、搭載位置ずれ分布ＰＤを構成する各搭載位置ずれデータＤ５に対応した実装機１２の選択などを行うことができる。表示画面ＤＳ３に設定された部品選択領域Ｂ３、ヘッド選択領域Ｂ４、ノズル選択領域Ｂ５、及びフィーダー選択領域Ｂ６は、上記の表示画面ＤＳ１，ＤＳ２の場合と同様に、吸着位置ずれデータＤ１及び搭載位置ずれデータＤ５と関連付けられたパラメータ情報Ｄ２を構成する部品情報Ｄ２１、ヘッド情報Ｄ２２、ノズル情報Ｄ２３、及びフィーダー情報Ｄ２４の中から一のパラメータ情報を選択する指令を入力するための領域である。
[0090]管理制御部１６５は、パラメータ情報Ｄ２の中から選択される一の情報に着目した吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとを、パラメータの選択の変更に応じて切り替え可能に管理表示部１６２に同時に表示させる。具体的には、管理制御部１６５は、パラメータ情報Ｄ２の中から部品情報Ｄ２１を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、部品情報Ｄ２１で特定される部品に着目した吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとが同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。同様に、パラメータ情報Ｄ２の中からヘッド情報Ｄ２２を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、ヘッド情報Ｄ２２で特定される搭載ヘッド２５１に着目した吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとが同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。また、パラメータ情報Ｄ２の中からノズル情報Ｄ２３を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、ノズル情報Ｄ２３で特定される吸着ノズル２５１１に着目した吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとが同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。また、パラメータ情報Ｄ２の中からフィーダー情報Ｄ２４を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、フィーダー情報Ｄ２４で特定されるフィーダー２４Ｆに着目した吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとが同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。
[0091]このように、管理制御部１６５による管理表示部１６２の制御に基づいて、パラメータ情報Ｄ２の中から管理操作部１６３を介して選択された一の情報に着目した吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとが管理表示部１６２に同時に表示される。これにより、オペレータは、吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとの比較を容易に行うことができる。
[0092]図９に示されるように、吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとが管理表示部１６２に同時に表示された状態で、一方の位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合を想定する。図９では、吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する吸着位置ずれデータＤ１のデータ群の中から所定の選択領域ＰＲに含まれる２つの特定の位置ずれデータＤ１Ｓが選択された例が示されている。この場合、管理制御部１６５は、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した処理状態画像Ｇ２を構成する第１供給処理画像Ｇ２１、第２供給処理画像Ｇ２２、第３供給処理画像Ｇ２３、吸着処理画像Ｇ２４、第１搭載処理画像Ｇ２５及び第２搭載処理画像Ｇ２６と、搭載基板画像Ｇ３とを含む画像群ＧＧが、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。
[0093]オペレータは、管理操作部１６３を介した特定の位置ずれデータＤ１Ｓの選択指令に応じて管理表示部１６２に表示される処理状態画像Ｇ２を構成する各画像と搭載基板画像Ｇ３とを確認することにより、吸着ノズル２５１１による部品の吸着位置の位置ずれが、部品搭載基板ＰＰＡにおける部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを確認することができる。また、本実施形態では、特定の位置ずれデータＤ１Ｓを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合、管理制御部１６５は、処理状態画像Ｇ２及び搭載基板画像Ｇ３に加えてパターン基板画像Ｇ１、リフロー基板画像Ｇ４を含む画像群ＧＧが、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。オペレータは、管理表示部１６２表示されるパターン基板画像Ｇ１を確認することにより、半田ペーストのパターンの形成状況が吸着位置ずれ及び搭載位置ずれに与える影響を確認することができる。また、オペレータは、管理表示部１６２に表示されるリフロー基板画像Ｇ４を確認することにより、リフロー処理後のリフロー基板ＰＰＢにおける部品の位置ずれ状況などを確認することができる。
[0094]更に、吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとが管理表示部１６２に同時に表示された状態で、一方の位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合を想定する。上記の通り図９では、一方の位置ずれ分布としての吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する吸着位置ずれデータＤ１のデータ群の中から所定の選択領域ＰＲに含まれる２つの特定の位置ずれデータＤ１Ｓが選択された例が示されている。この場合、管理制御部１６５は、他方の位置ずれ分布としての搭載位置ずれ分布ＰＤのデータ群において、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データＤ５Ａが残余のデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部１６２を制御する。例えば、管理制御部１６５は、搭載位置ずれ分布ＰＤを構成する搭載位置ずれデータＤ５のデータ群において、注目データＤ５Ａのプロットの明るさやコントラストが残余のデータとは異なるように、管理表示部１６２を制御する。
[0095]これにより、管理表示部１６２に同時に表示された吸着位置ずれ分布ＡＤと搭載位置ずれ分布ＰＤとにおいて、特定の位置ずれデータＤ１Ｓと注目データＤ５Ａとの対応関係が明確となる。このため、オペレータは、管理操作部１６３を介して選択した特定の位置ずれデータＤ１Ｓと注目データＤ５Ａとの対応関係を的確に確認することができる。この結果、オペレータは、吸着ノズル２５１１による部品の吸着位置の位置ずれが、部品搭載基板ＰＰＡ上における部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを、より容易に確認することができる。
[0096]また、管理制御部１６５は、パラメータ情報Ｄ２の中から一の情報を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合に、図１０に例示される表示画面ＤＳ４を管理表示部１６２に表示させるように構成されていてもよい。具体的には、管理制御部１６５は、画像群ＧＧに加えて、吸着位置ずれ推移グラフＡＧと搭載位置ずれ推移グラフＰＧとの少なくとも一方の推移グラフが吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。吸着位置ずれ推移グラフＡＧは、吸着位置ずれデータＤ１のデータ群の時間的な推移を示すグラフである。吸着位置ずれ推移グラフＡＧは、吸着ノズル２５１１に対する部品の吸着位置のずれ量に関し、Ｘ方向のずれ量の時間的な推移を示すグラフと、Ｙ方向のずれ量の時間的な推移を示すグラフと、Ｒ方向（回転方向）のずれ量の時間的な推移を示すグラフと、を含む。搭載位置ずれ推移グラフＰＧは、搭載位置ずれデータＤ５のデータ群の時間的な推移を示すグラフである。搭載位置ずれ推移グラフＰＧは、搭載ヘッド２５１による部品搭載処理におけるパターン形成基板ＰＰに対する部品の搭載位置のずれ量に関し、Ｘ方向のずれ量の時間的な推移を示すグラフと、Ｙ方向のずれ量の時間的な推移を示すグラフと、Ｒ方向（回転方向）のずれ量の時間的な推移を示すグラフと、を含む。
[0097]これにより、管理制御部１６５は、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に、吸着位置ずれデータＤ１と搭載位置ずれデータＤ５との時間的な推移をグラフとして視覚化した状態で管理表示部１６２に表示させることができる。このため、オペレータは、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤに基づき位置ずれの発生状況を視覚的に確認しつつ、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ及び搭載位置ずれ推移グラフＰＧに基づき位置ずれの時間的な推移を確認することができる。
[0098]なお、管理制御部１６５は、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤの少なくとも一方の位置ずれ分布と、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ及び搭載位置ずれ推移グラフＰＧの少なくとも一方の推移グラフとが同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する構成であってもよい。この場合、管理制御部１６５は、吸着位置ずれ分布ＡＤと吸着位置ずれ推移グラフＡＧとを一組とし、搭載位置ずれ分布ＰＤと搭載位置ずれ推移グラフＰＧとを一組として取り扱う。つまり、管理制御部１６５は、吸着位置ずれ分布ＡＤと吸着位置ずれ推移グラフＡＧとが同時に表示され、搭載位置ずれ分布ＰＤと搭載位置ずれ推移グラフＰＧとが同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。
[0099]吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤと、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ及び搭載位置ずれ推移グラフＰＧとが管理表示部１６２に同時に表示された状態で、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤのうちの一方の位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合を想定する。図１０では、一方の位置ずれ分布としての吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する吸着位置ずれデータＤ１のデータ群の中から所定の選択領域ＰＲに含まれる２つの特定の位置ずれデータＤ１Ｓが選択された例が示されている。この場合、管理制御部１６５は、他方の位置ずれ分布としての搭載位置ずれ分布ＰＤ、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ、及び搭載位置ずれ推移グラフＰＧの各データ群において特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部１６２を制御する。
[0100]具体的には、搭載位置ずれ分布ＰＤを構成する搭載位置ずれデータＤ５のデータ群において、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データＤ５Ａが残余のデータとは異なる表示態様とされる。同様に、吸着位置ずれ推移グラフＡＧを構成する吸着位置ずれデータＤ１のデータ群において、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データＤ１Ａが残余のデータとは異なる表示態様とされる。また、搭載位置ずれ推移グラフＰＧを構成する搭載位置ずれデータＤ５のデータ群において、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データＤ５Ａが残余のデータとは異なる表示態様とされる。例えば、管理制御部１６５は、搭載位置ずれ分布ＰＤにおける注目データＤ５Ａ、吸着位置ずれ推移グラフＡＧにおける注目データＤ１Ａ、搭載位置ずれ推移グラフＰＧにおける注目データＤ５Ａのプロットの明るさやコントラストが残余のデータとは異なるように、管理表示部１６２を制御する。
[0101]これにより、管理表示部１６２に同時に表示された吸着位置ずれ分布ＡＤ、搭載位置ずれ分布ＰＤ、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ、及び搭載位置ずれ推移グラフＰＧにおいて、各位置ずれデータの対応関係が明確となる。このため、オペレータは、吸着位置ずれデータＤ１と搭載位置ずれデータＤ５との対応関係を、時間的な推移状況も含めて的確に確認することができる。この結果、オペレータは、吸着ノズル２５１１による部品の吸着位置の位置ずれが、部品搭載基板ＰＰＡ上における部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを、時間的な因子も含めて容易に確認することができる。
[0102]吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤの少なくとも一方の位置ずれ分布と、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ及び搭載位置ずれ推移グラフＰＧの少なくとも一方の推移グラフとが管理表示部１６２に同時に表示された状態で、管理表示部１６２に表示されている位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合を想定する。この場合、管理制御部１６５は、管理操作部１６３による指令の対象の位置ずれ分布とは別の位置ずれ分布が管理表示部１６２に表示されているときには当該位置ずれ分布と、管理表示部１６２に表示されている推移グラフとの各データ群において、特定の位置ずれデータに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部１６２を制御する。
[0103]また、図１１に例示される表示画面ＤＳ５のように、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤと、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ及び搭載位置ずれ推移グラフＰＧとが管理表示部１６２に同時に表示された状態で、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ及び搭載位置ずれ推移グラフＰＧのうちの一方の位置ずれ推移グラフのデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合を想定する。図１１では、一方の位置ずれ推移グラフとしての吸着位置ずれ推移グラフＡＧを構成する吸着位置ずれデータＤ１のデータ群の中から所定の選択領域ＰＲに含まれる２つの特定の位置ずれデータＤ１Ｓが選択された例が示されている。この場合、管理制御部１６５は、他方の位置ずれ推移グラフとしての搭載位置ずれ推移グラフＰＧ、吸着位置ずれ分布ＡＤ、及び搭載位置ずれ分布ＰＤの各データ群において特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部１６２を制御する。
[0104]具体的には、搭載位置ずれ推移グラフＰＧを構成する搭載位置ずれデータＤ５のデータ群において、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データＤ５Ａが残余のデータとは異なる表示態様とされる。同様に、吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する吸着位置ずれデータＤ１のデータ群において、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データＤ１Ａが残余のデータとは異なる表示態様とされる。また、搭載位置ずれ分布ＰＤを構成する搭載位置ずれデータＤ５のデータ群において、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データＤ５Ａが残余のデータとは異なる表示態様とされる。例えば、管理制御部１６５は、搭載位置ずれ推移グラフＰＧにおける注目データＤ５Ａ、吸着位置ずれ分布ＡＤにおける注目データＤ１Ａ、搭載位置ずれ分布ＰＤにおける注目データＤ５Ａのプロットの明るさやコントラストが残余のデータとは異なるように、管理表示部１６２を制御する。
[0105]これにより、管理表示部１６２に同時に表示された吸着位置ずれ分布ＡＤ、搭載位置ずれ分布ＰＤ、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ、及び搭載位置ずれ推移グラフＰＧにおいて、各位置ずれデータの対応関係が明確となる。このため、オペレータは、吸着位置ずれデータＤ１と搭載位置ずれデータＤ５との対応関係を、時間的な推移状況も含めて的確に確認することができる。
[0106]吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤの少なくとも一方の位置ずれ分布と、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ及び搭載位置ずれ推移グラフＰＧの少なくとも一方の推移グラフとが管理表示部１６２に同時に表示された状態で、管理表示部１６２に表示されている推移グラフのデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合を想定する。この場合、管理制御部１６５は、管理操作部１６３による指令の対象の推移グラフとは別の推移グラフが管理表示部１６２に表示されているときには当該推移グラフと、管理表示部１６２に表示されている位置ずれ分布との各データ群において、特定の位置ずれデータに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部１６２を制御する。
[0107]また、管理制御部１６５は、パラメータ情報Ｄ２の中から一の情報を選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合に、図１２に例示される表示画面ＤＳ６を管理表示部１６２に表示させるように構成されていてもよい。具体的には、管理制御部１６５は、画像群ＧＧに加えて、吸着レベル推移グラフＡＬＧが、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤの少なくとも一方の位置ずれ分布と同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御する。吸着レベル推移グラフＡＬＧは、管理記憶部１６４に蓄積して記憶される各管理データＤＭに含まれる吸着レベルデータＤ３のデータ群の時間的な推移を示すグラフである。なお、管理制御部１６５は、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ、搭載位置ずれ推移グラフＰＧ、及び吸着レベル推移グラフＡＬＧが、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御してもよい。
[0108]これにより、管理制御部１６５は、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に、吸着ノズル２５１１による部品の吸着レベルを示す吸着レベルデータＤ３の時間的な推移をグラフとして視覚化した状態で管理表示部１６２に表示させることができる。このため、オペレータは、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤに基づき位置ずれの発生状況を視覚的に確認しつつ、吸着レベル推移グラフＡＬＧに基づき吸着レベルデータＤ３の時間的な推移を確認することができる。
[0109]この際、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤと吸着レベル推移グラフＡＬＧとが管理表示部１６２に同時に表示された状態で、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤのうちの一方の位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合を想定する。図１２では、一方の位置ずれ分布としての吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する吸着位置ずれデータＤ１のデータ群の中から所定の選択領域ＰＲに含まれる２つの特定の位置ずれデータＤ１Ｓが選択された例が示されている。この場合、管理制御部１６５は、他方の位置ずれ分布としての搭載位置ずれ分布ＰＤ及び吸着レベル推移グラフＡＬＧの各データ群において特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部１６２を制御する。
[0110]具体的には、搭載位置ずれ分布ＰＤを構成する搭載位置ずれデータＤ５のデータ群において、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データＤ５Ａが残余のデータとは異なる表示態様とされる。同様に、吸着レベル推移グラフＡＬＧを構成する吸着レベルデータＤ３のデータ群において、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応した注目データＤ３Ａが残余のデータとは異なる表示態様とされる。例えば、管理制御部１６５は、搭載位置ずれ分布ＰＤにおける注目データＤ５Ａ、吸着レベル推移グラフＡＬＧにおける注目データＤ３Ａのプロットの明るさやコントラストが残余のデータとは異なるように、管理表示部１６２を制御する。
[0111]これにより、管理表示部１６２に同時に表示された吸着位置ずれ分布ＡＤ、搭載位置ずれ分布ＰＤ、及び吸着レベル推移グラフＡＬＧにおいて、各位置ずれデータＤ１，Ｄ５と吸着レベルデータＤ３との対応関係が明確となる。このため、オペレータは、各位置ずれデータＤ１，Ｄ５と吸着レベルデータＤ３との対応関係を的確に確認することができる。この結果、オペレータは、吸着ノズル２５１１による部品の吸着位置の位置ずれが、部品搭載基板ＰＰＡ上における部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを、吸着ノズル２５１１による部品の吸着レベルに着目して確認することができる。
[0112]吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤの少なくとも一方の位置ずれ分布と、吸着レベル推移グラフＡＬＧとが管理表示部１６２に同時に表示された状態で、管理表示部１６２に表示されている位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合を想定する。この場合、管理制御部１６５は、管理操作部１６３による指令の対象の位置ずれ分布とは別の位置ずれ分布が管理表示部１６２に表示されているときには当該位置ずれ分布と、吸着レベル推移グラフＡＬＧとの各データ群において、特定の位置ずれデータに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部１６２を制御する。
[0113]また、管理制御部１６５は、管理記憶部１６４に蓄積して記憶される各管理データＤＭに含まれる吸着状態データＤ４に基づいて、正常吸着率を算出するように構成されていてもよい。具体的には、管理制御部１６５は、パラメータ情報Ｄ２を構成する部品情報Ｄ２１、ヘッド情報Ｄ２２、ノズル情報Ｄ２３及びフィーダー情報Ｄ２４の各々で示される部品、搭載ヘッド２５１、吸着ノズル２５１１及びフィーダー２４Ｆについて、正常吸着率を算出する。この正常吸着率は、部品、搭載ヘッド２５１、吸着ノズル２５１１及びフィーダー２４Ｆの各々について、所定の指定期間において使用された総回数に対する、吸着状態データＤ４で示される吸着状態が正常である場面で使用された回数の割合を示す。つまり、部品の種類ごと、搭載ヘッド２５１の種類ごと、吸着ノズル２５１１の種類ごと、及びフィーダー２４Ｆの種類ごとに見た場合において、正常吸着率が高くなるに従って、吸着ノズル２５１１による部品の吸着状態が正常である場面で使用された回数が多くなる。このため、正常吸着率が高いほど、吸着位置ずれ及び搭載位置ずれの発生要因とは考え難くなる。
[0114]図１３に例示される表示画面ＤＳ７のように、管理制御部１６５は、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤの少なくとも一方の位置ずれ分布が管理表示部１６２に表示された状態で、正常吸着率を表形式で示した正常吸着率表ＡＲＴが表示されるように、管理表示部１６２を制御する。具体的には、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤの少なくとも一方の位置ずれ分布が管理表示部１６２に表示された状態で、当該位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部１６３を介して入力された場合を想定する。図１３では、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤが管理表示部１６２に同時に表示された状態で、吸着位置ずれ分布ＡＤを構成する吸着位置ずれデータＤ１のデータ群の中から所定の選択領域ＰＲに含まれる２つの特定の位置ずれデータＤ１Ｓが選択された例が示されている。この場合、管理制御部１６５は、特定の位置ずれデータＤ１Ｓに対応したパラメータ情報Ｄ２で示される部品、搭載ヘッド２５１、吸着ノズル２５１１及びフィーダー２４Ｆの各々における正常吸着率が含まれる正常吸着率表ＡＲＴが表示されるように、管理表示部１６２を制御する。なお、管理制御部１６５は、画像群ＧＧに加えて、吸着位置ずれ推移グラフＡＧ、搭載位置ずれ推移グラフＰＧ、及び正常吸着率表ＡＲＴが、吸着位置ずれ分布ＡＤ及び搭載位置ずれ分布ＰＤと同時に表示されるように、管理表示部１６２を制御してもよい。
[0115]オペレータは、管理表示部１６２に表示された正常吸着率表ＡＲＴに基づいて、部品、搭載ヘッド２５１、吸着ノズル２５１１及びフィーダー２４Ｆの各々における正常吸着率を確認することができる。これにより、オペレータは、吸着位置ずれ及び搭載位置ずれの発生要因を容易に特定することが可能となる。
[0116]なお、上述した具体的実施形態には以下の構成を有する発明が主に含まれている。
[0117]本発明の一の局面に係る部品実装システムは、部品を供給する部品供給処理を行うフィーダーと、前記部品を吸着する部品吸着処理を行う吸着ノズルを有し、前記吸着ノズルにより吸着された前記部品を基板に搭載する部品搭載処理を行うことで部品搭載基板を得る搭載ヘッドと、を含む実装機と、前記実装機とデータ通信可能に接続される管理装置と、を備える。前記管理装置は、前記部品吸着処理における前記吸着ノズルに対する前記部品の吸着位置のずれ量を示す吸着位置ずれデータと、前記部品供給処理、前記部品吸着処理、及び前記部品搭載処理の各処理で用いられた前記部品、前記フィーダー、前記吸着ノズル、及び前記搭載ヘッドをそれぞれ特定するための各パラメータ情報と、前記各処理の処理状態の画像をそれぞれ示す各処理状態画像と、を前記実装機から取得する管理通信部と、前記吸着位置ずれデータと、前記各パラメータ情報と、前記各処理状態画像とを関連付けた管理データを蓄積して記憶する管理記憶部と、前記管理データの情報を表示する管理表示部と、前記管理表示部の表示形態に関する指令が入力される管理操作部と、前記管理操作部に入力された指令に応じて前記管理表示部を制御する管理制御部と、を含む。前記管理制御部は、前記各パラメータ情報の中から一のパラメータ情報を選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、前記一のパラメータ情報に着目した前記吸着位置ずれデータのデータ群の分布を示す吸着位置ずれ分布が表示されるように、前記管理表示部を制御する。更に、前記管理制御部は、前記吸着位置ずれ分布が前記管理表示部に表示された状態で、前記吸着位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の前記吸着位置ずれデータを選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、当該特定の吸着位置ずれデータに対応した前記各処理状態画像が前記吸着位置ずれ分布と同時に表示されるように、前記管理表示部を制御する。
[0118]この部品実装システムによれば、実装機と管理装置とがデータ通信可能に接続される。管理装置では、管理記憶部が管理通信部により実装機から取得された吸着位置ずれデータ、各パラメータ情報、及び各処理状態画像を関連付けた管理データを蓄積して記憶する。そして、管理制御部は、各パラメータ情報の中から一のパラメータ情報を選択する指令が管理操作部を介して入力された場合、当該一のパラメータ情報に着目した吸着位置ずれデータのデータ群の分布を示す吸着位置ずれ分布を管理表示部に表示させる。
[0119]吸着位置ずれデータと関連付けられた各パラメータ情報で特定される部品、フィーダー、吸着ノズル及び搭載ヘッドは、吸着ノズルによる部品の吸着位置ずれの発生要因となり得る。つまり、フィーダーによって供給された部品の姿勢や部品の形状は、吸着ノズルによる部品の吸着保持性に影響を与える。また、吸着ノズル及び搭載ヘッドの動作特性や経年劣化の状況についても、吸着ノズルによる部品の吸着保持性に影響を与える。管理操作部を介して選択されたパラメータ情報に着目した吸着位置ずれ分布が管理表示部に表示されることにより、オペレータは、吸着ノズルによる部品の吸着位置ずれの発生状況を視覚的に確認しつつ、吸着位置ずれの発生要因を特定することが可能となる。
[0120]また、吸着位置ずれ分布が管理表示部に表示された状態で、吸着位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部を介して入力された場合、管理制御部は、当該特定の位置ずれデータに対応した各処理状態画像を吸着位置ずれ分布と同時に管理表示部に表示させる。
[0121]各処理状態画像は、吸着位置ずれデータと関連付けられた画像であって、フィーダーの部品供給処理、吸着ノズルの部品吸着処理、及び搭載ヘッドの部品搭載処理の各処理の処理状態を示す画像である。オペレータは、管理操作部を介した特定の位置ずれデータの選択指令に応じて管理表示部に吸着位置ずれ分布と同時に表示される各処理状態画像を確認することにより、部品供給処理、部品吸着処理、及び部品搭載処理の各処理の吸着位置ずれに与える影響を的確に把握することができる。このため、オペレータは、吸着位置ずれの発生要因をより的確に特定することが可能となる。オペレータは、吸着位置ずれの発生要因を特定した後、当該発生要因に対して適切な対策を講じることができ、これによって吸着位置ずれに起因した基板上における部品の搭載位置の位置ずれの不良を解消することができる。
[0122]上記の部品実装システムは、前記管理装置とデータ通信可能に接続され、前記部品搭載基板の画像を示す搭載基板画像に基づいて当該部品搭載基板を検査する搭載検査装置を、更に備える構成であってもよい。この場合、前記管理通信部は、前記部品搭載処理における基板に対する前記部品の搭載位置のずれ量を示す搭載位置ずれデータと、前記搭載基板画像と、を前記搭載検査装置から取得するように構成され、前記管理記憶部は、前記管理データとして、前記搭載位置ずれデータと前記搭載基板画像とを更に関連付けたデータを蓄積して記憶するように構成される。そして、前記管理制御部は、前記各パラメータ情報の中から一のパラメータ情報を選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、前記一のパラメータ情報に着目した前記搭載位置ずれデータのデータ群の分布を示す搭載位置ずれ分布、及び前記吸着位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布が表示されるように、前記管理表示部を制御する。更に、管理制御部は、前記吸着位置ずれ分布及び前記搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布が前記管理表示部に表示された状態で、当該位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、当該特定の位置ずれデータに対応した前記各処理状態画像と前記搭載基板画像とが当該位置ずれ分布と同時に表示されるように、前記管理表示部を制御する。
[0123]この態様では、管理制御部は、管理通信部により搭載検査装置から取得された搭載位置ずれデータのデータ群の分布を示す搭載位置ずれ分布を、管理表示部に表示させることが可能である。オペレータは、管理表示部に表示された搭載位置ずれ分布に基づいて、実装機により得られた部品搭載基板における部品の搭載位置の位置ずれの発生状況を視覚的に確認することができる。
[0124]また、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布が管理表示部に表示された状態で、管理操作部を介して特定の位置ずれデータを選択する指令が入力された場合、管理制御部は、各処理状態画像に加えて搭載基板画像を位置ずれ分布と同時に管理表示部に表示させる。オペレータは、管理表示部に位置ずれ分布と同時に表示される各処理状態画像及び搭載基板画像を確認することにより、吸着ノズルによる部品の吸着位置の位置ずれが、基板上における部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを確認することができる。
[0125]上記の部品実装システムは、前記管理装置とデータ通信可能に接続され、前記部品搭載処理で用いられる半田ペーストのパターンが形成されたパターン形成基板の画像を示すパターン基板画像に基づいて当該パターン形成基板を検査するパターン検査装置と、前記管理装置とデータ通信可能に接続され、前記部品搭載基板にリフロー処理が施された後のリフロー基板の画像を示すリフロー基板画像に基づいて当該リフロー基板を検査するリフロー検査装置と、を更に備える構成であってもよい。この場合、前記管理通信部は、前記パターン基板画像を前記パターン検査装置から取得するとともに、前記リフロー基板画像を前記リフロー検査装置から取得するように構成され、前記管理記憶部は、前記管理データとして、前記パターン基板画像と前記リフロー基板画像とを更に関連付けたデータを蓄積して記憶するように構成される。そして、前記管理制御部は、前記吸着位置ずれ分布及び前記搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布が前記管理表示部に表示された状態で、当該位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、当該特定の位置ずれデータに対応した前記各処理状態画像、前記搭載基板画像、前記パターン基板画像、及び前記リフロー基板画像が当該位置ずれ分布と同時に表示されるように、前記管理表示部を制御する。
[0126]この態様では、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布が管理表示部に表示された状態で、管理操作部を介して特定の位置ずれデータを選択する指令が入力された場合、管理制御部は、各処理状態画像及び搭載基板画像に加えてパターン基板画像、リフロー基板画像を位置ずれ分布と同時に管理表示部に表示させる。オペレータは、管理表示部に位置ずれ分布と同時に表示されるパターン基板画像を確認することにより、半田ペーストのパターンの形成状況が吸着位置ずれ及び搭載位置ずれに与える影響を確認することができる。また、オペレータは、管理表示部に位置ずれ分布と同時に表示されるリフロー基板画像を確認することにより、リフロー処理後のリフロー基板における部品の位置ずれ状況などを確認することができる。
[0127]上記の部品実装システムにおいて、前記管理制御部は、前記各パラメータ情報の中から一のパラメータ情報を選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、前記一のパラメータ情報に着目した前記吸着位置ずれ分布と前記搭載位置ずれ分布とが同時に表示されるように、前記管理表示部を制御する構成であってもよい。この場合、前記管理制御部は、前記吸着位置ずれ分布と前記搭載位置ずれ分布とが前記管理表示部に同時に表示された状態で、一方の位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、他方の位置ずれ分布のデータ群において前記特定の位置ずれデータに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、前記管理表示部を制御する。
[0128]この態様では、各パラメータ情報の中から一のパラメータ情報を選択する指令が管理操作部を介して入力された場合、管理制御部は、当該一のパラメータ情報に着目した吸着位置ずれ分布と搭載位置ずれ分布とを同時に管理表示部に表示させる。これにより、オペレータは、吸着位置ずれ分布と搭載位置ずれ分布との比較を容易に行うことができる。このため、オペレータは、吸着ノズルによる部品の吸着位置の位置ずれが、基板上における部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを、容易に確認することができる。
[0129]また、吸着位置ずれ分布と搭載位置ずれ分布とが管理表示部に同時に表示された状態で、一方の位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部を介して入力された場合を想定する。この場合、管理制御部は、他方の位置ずれ分布のデータ群において特定の位置ずれデータに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように管理表示部を制御する。これにより、管理表示部に同時に表示された吸着位置ずれ分布と搭載位置ずれ分布とにおいて、吸着位置ずれデータと搭載位置ずれデータとの対応関係が明確となる。このため、オペレータは、吸着位置ずれデータと搭載位置ずれデータとの対応関係を的確に確認することができる。この結果、オペレータは、吸着ノズルによる部品の吸着位置の位置ずれが、基板上における部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを、より容易に確認することができる。
[0130]上記の部品実装システムにおいて、前記管理制御部は、前記各パラメータ情報の中から一のパラメータ情報を選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、前記吸着位置ずれデータのデータ群の時間的な推移を示す吸着位置ずれ推移グラフと、前記搭載位置ずれデータのデータ群の時間的な推移を示す搭載位置ずれ推移グラフとの少なくとも一方の推移グラフが、前記吸着位置ずれ分布及び前記搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布と同時に表示されるように、前記管理表示部を制御する構成であってもよい。
[0131]この態様では、各パラメータ情報の中から一のパラメータ情報を選択する指令が管理操作部を介して入力された場合、管理制御部は、吸着位置ずれ推移グラフ及び搭載位置ずれ推移グラフの少なくとも一方の推移グラフが、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布と同時に表示されるように、管理表示部を制御する。これにより、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布と同時に、吸着位置ずれデータ及び搭載位置ずれデータの少なくとも一方の位置ずれデータの時間的な推移をグラフとして視覚化した状態で管理表示部に表示させることができる。このため、オペレータは、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布に基づき位置ずれの発生状況を視覚的に確認しつつ、吸着位置ずれ推移グラフ及び搭載位置ずれ推移グラフの少なくとも一方の推移グラフに基づき位置ずれの時間的な推移を確認することができる。
[0132]上記の部品実装システムにおいて、前記管理制御部は、前記吸着位置ずれ分布及び前記搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布と、前記吸着位置ずれ推移グラフ及び前記搭載位置ずれ推移グラフの少なくとも一方の推移グラフとが前記管理表示部に同時に表示された状態で、前記管理表示部に表示されている位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、前記管理操作部による指令の対象の位置ずれ分布とは別の位置ずれ分布が前記管理表示部に表示されているときには当該位置ずれ分布と、前記管理表示部に表示されている推移グラフとの各データ群において、前記特定の位置ずれデータに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、前記管理表示部を制御する構成であってもよい。
[0133]この態様では、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布と、吸着位置ずれ推移グラフ及び搭載位置ずれ推移グラフの少なくとも一方の推移グラフとが管理表示部に同時に表示された状態で、管理表示部に表示されている位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部を介して入力された場合を想定する。この場合、管理制御部は、管理操作部による指令の対象の位置ずれ分布とは別の位置ずれ分布が管理表示部に表示されているときには当該位置ずれ分布と、管理表示部に表示されている推移グラフとの各データ群において、特定の位置ずれデータに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部を制御する。これにより、管理表示部に同時に表示された吸着位置ずれ分布、搭載位置ずれ分布、吸着位置ずれ推移グラフ、及び搭載位置ずれ推移グラフにおいて、各位置ずれデータの対応関係が明確となる。このため、オペレータは、吸着位置ずれデータと搭載位置ずれデータとの対応関係を、時間的な推移状況も含めて的確に確認することができる。この結果、オペレータは、吸着ノズルによる部品の吸着位置の位置ずれが、基板上における部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを、時間的な因子も含めて容易に確認することができる。
[0134]上記の部品実装システムにおいて、前記管理制御部は、前記吸着位置ずれ分布及び前記搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布と、前記吸着位置ずれ推移グラフ及び前記搭載位置ずれ推移グラフの少なくとも一方の推移グラフとが前記管理表示部に同時に表示された状態で、前記管理表示部に表示されている推移グラフのデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、前記管理操作部による指令の対象の推移グラフとは別の推移グラフが前記管理表示部に表示されているときには当該推移グラフと、前記管理表示部に表示されている位置ずれ分布との各データ群において、前記特定の位置ずれデータに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、前記管理表示部を制御する構成であってもよい。
[0135]この態様では、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布と、吸着位置ずれ推移グラフ及び搭載位置ずれ推移グラフの少なくとも一方の推移グラフとが管理表示部に同時に表示された状態で、管理表示部に表示されている推移グラフのデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部を介して入力された場合を想定する。この場合、管理制御部は、管理操作部による指令の対象の推移グラフとは別の推移グラフが管理表示部に表示されているときには当該推移グラフと、管理表示部に表示されている位置ずれ分布との各データ群において、特定の位置ずれデータに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部を制御する。これにより、管理表示部に同時に表示された吸着位置ずれ分布、搭載位置ずれ分布、吸着位置ずれ推移グラフ、及び搭載位置ずれ推移グラフにおいて、各位置ずれデータの対応関係が明確となる。このため、オペレータは、吸着位置ずれデータと搭載位置ずれデータとの対応関係を、時間的な推移状況も含めて的確に確認することができる。
[0136]上記の部品実装システムにおいて、前記管理通信部は、前記部品吸着処理における前記吸着ノズルによる前記部品の吸着レベルを示す吸着レベルデータを前記実装機から取得するように構成され、前記管理記憶部は、前記管理データとして、前記吸着レベルデータを更に関連付けたデータを蓄積して記憶するように構成されていてもよい。この場合、前記管理制御部は、前記各パラメータ情報の中から一のパラメータ情報を選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、前記吸着レベルデータで示される前記吸着レベルのデータ群の時間的な推移を示す吸着レベル推移グラフが、前記吸着位置ずれ分布及び前記搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布と同時に表示されるように、前記管理表示部を制御する。
[0137]この態様では、各パラメータ情報の中から一のパラメータ情報を選択する指令が管理操作部を介して入力された場合、管理制御部は、吸着レベル推移グラフが吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布と同時に表示されるように、管理表示部を制御する。これにより、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布と同時に、吸着ノズルによる部品の吸着レベルを示す吸着レベルデータの時間的な推移をグラフとして視覚化した状態で管理表示部に表示させることができる。このため、オペレータは、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布に基づき位置ずれの発生状況を視覚的に確認しつつ、吸着レベル推移グラフに基づき吸着レベルデータの時間的な推移を確認することができる。
[0138]上記の部品実装システムにおいて、前記管理制御部は、前記吸着位置ずれ分布及び前記搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布と、前記吸着レベル推移グラフとが前記管理表示部に同時に表示された状態で、前記管理表示部に表示されている位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、前記管理操作部による指令の対象の位置ずれ分布とは別の位置ずれ分布が前記管理表示部に表示されているときには当該位置ずれ分布と、前記吸着レベル推移グラフとの各データ群において、前記特定の位置ずれデータに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、前記管理表示部を制御する構成であってもよい。
[0139]この態様では、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布と吸着レベル推移グラフとが管理表示部に同時に表示された状態で、管理表示部に表示されている位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部を介して入力された場合を想定する。この場合、管理制御部は、管理操作部による指令の対象の位置ずれ分布とは別の位置ずれ分布が管理表示部に表示されているときには当該位置ずれ分布と、吸着レベル推移グラフとの各データ群において、特定の位置ずれデータに対応した注目データが残余のデータとは異なる表示態様となるように、管理表示部を制御する。これにより、管理表示部に同時に表示された吸着位置ずれ分布、搭載位置ずれ分布、及び吸着レベル推移グラフにおいて、各位置ずれデータと吸着レベルデータとの対応関係が明確となる。このため、オペレータは、各位置ずれデータと吸着レベルデータとの対応関係を的確に確認することができる。この結果、オペレータは、吸着ノズルによる部品の吸着位置の位置ずれが、基板上における部品の搭載位置の位置ずれに影響を与えているかを、吸着ノズルによる部品の吸着レベルに着目して確認することができる。
[0140]上記の部品実装システムにおいて、前記管理通信部は、前記部品吸着処理における前記吸着ノズルによる前記部品の吸着状態が正常であるか否かを示す吸着状態データを前記実装機から取得するように構成され、前記管理記憶部は、前記管理データとして、前記吸着状態データを更に関連付けたデータを蓄積して記憶するように構成されていてもよい。この場合、前記管理制御部は、前記吸着状態データに基づいて、前記各パラメータ情報で示される前記部品、前記フィーダー、前記吸着ノズル、及び前記搭載ヘッドの各々について、指定期間において使用された総回数に対する前記吸着状態が正常である場面で使用された回数の割合を示す正常吸着率を算出する。そして、前記管理制御部は、前記吸着位置ずれ分布及び前記搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布が前記管理表示部に表示された状態で、当該位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が前記管理操作部を介して入力された場合、前記特定の位置ずれデータに対応した前記各パラメータ情報で示される前記部品、前記フィーダー、前記吸着ノズル、及び前記搭載ヘッドの各々における前記正常吸着率が表示されるように、前記管理表示部を制御する。
[0141]この態様では、吸着位置ずれ分布及び搭載位置ずれ分布の少なくとも一方の位置ずれ分布が管理表示部に表示された状態で、当該位置ずれ分布のデータ群の中から１又は複数の特定の位置ずれデータを選択する指令が管理操作部を介して入力された場合を想定する。この場合、管理制御部は、特定の位置ずれデータに対応した各パラメータ情報で示される部品、フィーダー、吸着ノズル、及び搭載ヘッドの各々における正常吸着率が表示されるように、管理表示部を制御する。管理表示部に表示された部品、フィーダー、吸着ノズル、及び搭載ヘッドの各々における正常吸着率を確認することにより、オペレータは、吸着位置ずれ及び搭載位置ずれの発生要因を容易に特定することが可能となる。
[0142]以上説明した通り、本発明によれば、吸着ノズルによる部品の吸着位置の位置ずれの発生状況を確認し、当該位置ずれの発生要因を特定することが可能な部品実装システムを提供することができる。
