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2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)pp.685-688, (2023)
Ting-Chou Wei,Hsu-Hsiang Cheng,Sung-Cheng Lo,Yu-Chen Chen, Shu-Wei Chang, Zih-Song Hu, Jerwei Hsieh, Ruey-Shing Huang,Weileun Fang
2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)pp.745-748, (2023)
引用0浏览0EIWOS引用
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JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERINGno. 7 (2023): 074001-074001
2021 IEEE Sensorspp.1-4, (2021)
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