Werkstoffcharakterisierung mittels dreidimensionaler AtomsondeMaterials Characterization by means of three-dimensional atom probe

Die dreidimensionale Atomsonde ist ein nanoanalytisches Instrument, welches dreidimensionale Elementverteilungen von chemischen Inhomogenitäten, z. B. Ausscheidungen, in metallischen Werkstoffen im Subnanometerbereich liefert. Die Atomsonde hat sich zu einem der wichtigsten Verfahren auf dem Gebiet der Materialcharakterisierung entwickelt. Das Grundprinzip dieser Untersuchungsmethode basiert auf der Feldverdampfung und lonisation von Materialatomen und dem Auftreffen der generierten lonen auf einem Detektor, der ihre Position lokalisiert und registriert. Die chemische Natur der Atome wird dabei mittels Flugzeitmassenspektrometrie bestimmt. Es werden anhand von Beispielen mögliche Anwendungen sowie die Leistungsfähigkeit einer dreidimensionalen Atomsonde dargestellt und diskutiert.