柔性聚合物基材上三维纳米问隙的制作及互连
Micronanoelectronic Technology（2011）
摘要
利用普通的紫外光刻、等离子体刻蚀、剥离和薄膜技术,在生物和半导体技术兼容的柔性聚对二甲苯-C基材上制作出了三维纳米间隙结构.室温下,使用介质电泳的方法对制作的纳米间隙进行材料集成实验.在间距80 nm的间隙电极间,实现了碳纳米管的互连.Ⅰ-Ⅴ特性测试显示,互联后电极之间表现出了较好的线性导电特征.当使用的碳纳米管电泳液浓度为0.004 g/mL时,通过介质电泳方法得到连接于两电极间的碳管束的电阻约为13 kΩ.研究结果表明,这种柔性三维纳米间隙结构有望应用于柔性电子学、分子生物学和纳米材料科学等领域.
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关键词
dielectrophoresis,single-walled carbon nanotube,nano-gap,flexible substrate,three dimension,parylene
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