高功率TEA CO2激光器的双波长免调切换结构

Optics and Precision Engineering(2011)

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摘要
为在一台激光器上切换输出10.6/9.3μm两种波长高能激光,采用输出镜镀膜选支方法获得了9.3μm单谱线输出,其脉冲能量与原10.6μm波长基本相当.设计出双波长密闭免调切换输出结构,利用有限元分析软件MSC.Patran/Nastran对该结构的切换移动平台组件进行了静力学、热应力及热力耦合分析,并基于Matlab软件,运用最小二乘法对分析得到的位移变形量拟合出输出镜镜面绕坐标轴的偏转角度.分析计算得到结构的最大应力为101MPa.镜面的最大变形量为6.95μm,镜面绕3个坐标轴的倾斜角度分别为0.07",2.92",0.009".对研制出的实物装置进行发射试验,检测到两波长切换发射的指向性相对误差为8.7",结果表明,该结构能够满足免调切换输出两种波长激光的性能参数要求.
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关键词
finite element analysis,high power TEA CO2 laser,least square method,two wavelength shift structure
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