新型薄膜钪系阴极性能研究
Vacuum Electronics（2011）
摘要
利用三极直流溅射方法,采用Sc6WO12+W靶材研制新型薄膜钪系阴极,研究了这种阴极的发射特性和功函数分布情况,并对发射表面特性进行检测分析。这种阴极在1000℃时能提供86A/cm2的发射电流密度,表现出良好的发射性能。
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关键词
DC sputtering,Sc-type coated cathode
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