Design and technology of flat silicon micro heat spreaders for power- and microelectronics

Cet article presente des modeles ainsi que des resultats d'experimentation sur des caloducs a rainures en silicium qui ont ete developpes au Laboratoire d'Electrotechnique de Grenoble. Ceux-ci sont utilises comme repartiteurs de chaleur. Le silicium permet d'envisager une realisation des caloducs sur le meme substrat que les composants semiconducteurs a refroidir.