Nb/Al-AlO_x/Nb隧道结制备中压控电压源阳极氧化工艺研究

Zha Shitong,Cao Chunhai,Xu Qinyin,Li Mengyue,Kang Lin,Xu Weiwei,Chen Jian,Wu Peiheng

Cryogenics and Superconductivity（2010）

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摘要

采用计算机程控的压控电压源阳极氧化模式研究制备出自对准Nb/Al-AlOx/Nb隧道结的绝缘层Nb2O5/Al2O3/Nb2O5。研究了氧化电压、氧化层的厚度和氧化时间的关系。当阳极氧化电压变化率低于8V/min时,阳极氧化层的厚度基本取决于氧化电压的大小,而与氧化电压变化率无关。我们已采用电压源阳极氧化技术成功制备出超导Nb/Al-AlOx/Nb隧道结。

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关键词

Tunnel,Nb/Al-AlOx/Nb,Anodization

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