新式压电精密旋转驱动器
Piezoelectrics and Acoustooptics（2006）
摘要
提出一种新型将压电叠堆驱动元件应用到精密旋转驱动器上的研究方案.在对驱动器工作原理和机械结构进行分析研究的基础上,建立了以压电叠堆为驱动元件的旋转驱动数学模型.采用有限元分析软件对机械 结构进行了分析,得到了机械结构工作方向的静力学变形图和频率响应特性曲线;对低频状态驱动器的旋转分辨率进行了试验测试,并对样机的频响特性进行了试验测试,结果表明仿真分析结果基本反映了机械结构的谐振频率分布状况,对结构优化设计具有一定的意义,此外对影响测试结果精度的因素进行了分析.设计的结构具有低频工作稳定、分辨率高(0.136 6 μrad)等优点.
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