纳米颗粒ZnO薄膜气敏机理研究

Ming-gui DU,Hui LU,Kang-fu ZHOU, Zhi-xiang SHAO,Xiao-ren PAN

Huadong Ligong Daxue Xuebao /Journal of East China University of Science and Technology（2008）

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摘要

采用气体放电活化反应蒸发沉积(GDARE)法低温生长纳米颗粒ZnO薄膜.在不同温度下测试其对乙醇的灵敏度,结果表明:285℃附近纳米颗粒ZnO薄膜的灵敏度最高,为9.76,并且其最佳工作温度区间较窄.通过对ZnO薄膜的AFM表面形貌分析、SEM剖面分析和光学透射谱测试,可推测薄膜具有多孔性柱状晶表面结构,结合ZnO薄膜通入乙醇前后的阻抗谱测试结果,从晶粒晶界效应上对纳米颗粒ZnO薄膜的气敏机理进行了讨论.

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关键词

Grain boundary,Impedance spectra,Nanometer particle,Sensitivity,Transmittance,ZnO thin films

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