甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究

Hong Ge,Zhang Xiao-Dan,Qiang Yue,Jing Zhao,Ying Zhao

Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica（2008）

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摘要

采用二维准平面电路模型研究了甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)大面积平行板电极间真空电势差分布.计算结果表明:随平行板电极尺寸增加和激发频率提高,电势驻波效应成为影响电极间电势差非均匀分布的重要因素.在尺寸为1.2 m×0.8 m的大面积平行板电极上应用40.68和60 MHz两种激发频率,通过功率馈入点数量和位置优化,计算获得非均匀性分别为±2.35%和±5.5%的真空电势差分布.这些数值计算结果为大面积平行板电极在VHF-PECVD中应用提供了重要的理论指导.

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关键词

Two-dimensional quasi-planar circuit model,Very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition,Voltage standing wave effects

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