低温沉积硅薄膜电池及其在塑料衬底上的应用

Jian Ni,Junming Xue,Peng Zhao,Jianjun Zhang,Yujie Yuan,Guofu Hou,Ying Zhao,Xinhua Geng

Taiyangneng Xuebao/Acta Energiae Solaris Sinica（2010）

引用 1|浏览31

暂无评分

摘要

采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,保持衬底温度在125℃沉积硅薄膜材料及电池,研究了硅烷浓度、辉光功率等沉积参数对材料和电池性能的影响.在125℃的低温条件下,通过优化沉积工艺,在玻璃衬底和PET塑料衬底上分别制备出效率达到6.8%和3.9%的单结非晶硅电池.在PET衬底上,将低温沉积非晶硅电池的技术应用于的叠层电池的顶电池,制备出效率为4.6%的非晶/微晶硅叠层电池.

查看译文

关键词

Flexible solar cells,Low substrate temperatures,Plastic substrates,Silicon thin film solar cells

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要