放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源

贾兴 jia xing,王骐 wang qi,赵永蓬 zhao yongpeng,张潮海 zhang chaohai,刘春芳 liu chunfang,吕鹏 lu peng

Qiangjiguang Yu Lizishu/High Power Laser and Particle Beams（2010）

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摘要

描述了 Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁脉冲压缩网络,给出了关键参数的设计计算,并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构.实验结果显示:各级磁脉冲压缩效果达到设计指标,电源输出电压峰达30 kV,输出电流峰值大于40 kA,电流脉冲宽度200 ns,满足Z箍缩放电等离子极紫外光源对主脉冲的要求.

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关键词

Discharge produced plasma,Extreme ultraviolet source,Magnetic pulse compression,Main pulse,Z-pinch

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