燃烧法合成Al掺杂β-SiC粉体的工艺参数对其介电性能的影响

SU Xiao-lei,ZHOU Wan-cheng, XU Jie,LI Zhi-min,WANG Jun-bo,HE Xin-hai,FU Chong,ZHANG Li-feng

Gongneng Cailiao/Journal of Functional Materials（2011）

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摘要

采用燃烧合成法,以硅粉和炭黑为原料,铝粉为掺杂剂,聚四氟乙烯为助燃剂,分别在不同坯体压力下制备成坯体,在0.1MPa的氮气气氛中合成Al掺杂β-SiC粉体.通过X射线衍射、扫描电镜和电子能谱对合成粉体的物相、微观结构及形貌进行了表征.同时在8.2～12.4GHz频率范围内进行了介电性能测试.结果表明随着坯体压力的增大,合成β-SiC粉体的晶格参数随之减小,且其介电性能随之降低.对合成机理和Al掺杂对SiC介电性能的影响进行了讨论.

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关键词

Combustion synthesis,Dielectric property,Silicon carbide

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