A 26ps Selective Epitaxial Bipolar Technology

T F Meister,H W Meul, Reinhard Stengl, D Hartwig, R Weyl,I Kerner, R Mahnkopf,R Schreiter,Juyang Weng, R Kopl

Oiso, Japan（1991）

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关键词

temperature,epitaxial growth,electric resistance,fabrication,capacitance,circuits,bipolar transistors

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