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FSP-FLA(Flexibly-Shaped-Pulse FLA)による極浅接合形成とメタル/高誘電率絶縁膜デバイス特性の改善(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)

岳 鬼沢,慎一 加藤,敬幸 青山,安雄 奈良,譲 大路

siam international conference on data mining（2008）

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关键词
fsp-fla,flexibly-shaped-pulse
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