基于角差法面形测量装置的测角误差研究

Acta Optica Sinica（2014）

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摘要

针对已有的角差法面形检测原理验证装置,分析采用相对测角法测量反射镜表面采样点的斜率并重构面形的测量方式中测角误差的传递方式.通过Matlab软件建立该传递方式的分析模型,并分析测角稳定性误差对面形测量的影响.实验证明该仿真分析的结果可靠有效.

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