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Method to enhance epitaxial regrowth in amorphous silicon contacts

Yun Yu Wang,Johnathan E Faltermeier,Colleen M Snavely, Michael Maldei, Michael M Iwatake, D Dobuzinsky, Ravikumar Ramachandran, Viraj Y Sardesai,Philip L Flaitz, Lisa Y Ninomiya

mag（2004）

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