人工晶体中掺杂元素分析方法进展

SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS(2016)

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摘要
晶体材料的合成中,通过特定掺杂可以提高晶体质量、改善晶体性能,而掺杂元素的种类、浓度和分布对于人工晶体结构、性能等也有非常重要的影响。因此,准确测定晶体中各种元素的含量,对于改进晶体材料配方、生长工艺以及质量控制具有重要指导意义。目前,人工晶体中掺杂元素表征的主要方法包括原子光谱法,X射线荧光光谱法,无机质谱法和电子探针显微分析法等,对各种方法的原理、特点与局限性进行了综合论述,由于每种方法都有其各自的优缺点和适用范围,可根据不同的分析需求选择合适的方法以提高分析的效率与准确性。对人工晶体中掺杂元素分析方法的发展趋势进行了展望。
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关键词
Synthetic crystal,Doping,Elemental analysis,Spectroscopy,Mass spectrometry
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