小型离子阱技术及其航天应用进展
Transducer and Microsystem Technologies（2014）
摘要
公共治安、食品安全、环境保护、工业生产过程监测和载人航天及深空探测等领域急需微小型质谱仪,用于成分在线检测与分析.离子阱质谱仪较其他质谱仪具有真空度要求低、操作灵活和串联质谱性能良好等优点,更加适合进行小型化和微型化.对小型离子阱质谱、MEMS离子阱质谱的发展及其在航天领域的应用进行总结,试图找出制约离子阱质谱小型化发展的主要技术瓶颈,并提出了解决途径.最后对微小型离子阱的发展及其在航天领域的应用前景进行了展望.
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关键词
MEMS,mass spectrometer,miniaturization,ion trap,space
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