利用相位差异波前传感检测结果实现三反光学系统的辅助装调
openalex（2016）
摘要
阐述了基于相位差异(PD)的波前传感技术的基本原理;仿真分析了PD技术的噪声适应性及探测器离焦误差对精度的影响;利用PD技术的波前传感结果分别辅助装调了离轴、同轴三反光学系统,并分别将多视场的波前图与干涉检验的结果进行对比.实验结果表明,利用PD技术可实现三反光学系统的波前传感及辅助装调.与干涉检验的结果相比,波前传感结果的RMS偏差均优于0.02λ,检测精度满足工程需求.
更多关键词
imaging systems,phase diversity,wavefront sensing,off-axis three-mirror reflecting optical system,coaxial three-mirror reflecting optical system,assisted alignment
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