Dünnschicht‐Lichtwellenleiter für das mittlere Infrarot

Mit Halbleitermaterialien und neuen Strukturierungstechniken lassen sich miniaturisierte IR-Sensorsysteme gestalten. Das Ziel sind Chips, die samtliche Funktionen von der Lichtquelle bis zum Detektor vereinen und Biomolekule markierungsfrei und empfindlich detektieren.