晶圆级热电堆探测器测试技术的研究

MEMS热电堆红外探测器在消费电子、医疗保健、智能家居、工业等领域的应用越来越广泛,其需求量也日益增加.因此如何降低器件的生产成本争取市场份额便成了器件生产商最关心问题.当前MEMS热电堆红外探测器的测试成本占据了其总成本的一半以上.由于目前测试技术及设备的限制,其测试基本都是由人工逐一完成,从而限制了其成本.针对这一产业需求,研制一种热电堆探测器的批量化自动测试系统具有明确的市场价值.围绕热电堆红外探测器的工作特性,特别是环境温度及激励温度对器件工作的影响,构建了一套针对晶圆级红外热电堆探测器特殊测试需求的批量化测试系统.