低驱动电压RF MEMS悬臂梁开关的对比研究27
Qutlook of Electronic Technology（2020）
摘要
本文针对一字型悬臂梁RF MEMS开关,提出了两种降低驱动电压RF MEMS开关的方法,分别为:增大局部驱动面积和降低弹性系数.根据这两种方法设计了4种形状的悬臂梁开关,分别为增大局部驱动面积的十字型梁,降低弹性系数的三叉戟型、蟹钳型和折叠型梁.在梁的长度、厚度和初始间隙等参数一致的情况下,通过CMOSOL软件建模仿真得到了这4种悬臂梁的驱动电压,分别为7.2 V、5.6 V、3.8 V和3.6 V.相比于驱动电压为9 V的一字型悬臂梁,优化后的这4款开关可以降低驱动电压.并且低弹性系数方面,比增大局部驱动面积的开关效率要高.
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