RIBLL大面积真空镀膜装置

描述了一台大面积双叠层阳极在X、Y方向分条读出气体电离室而发展的大面积真空镀膜装置。镀膜腔体内体积为990mm×780mm×780mm。可镀膜面积最大为960mm×750mm。用该装置为RIBLL电离室镀阴极、X阳极、Y阳极和窗,镀膜面积440mm×160mm,Mylar膜厚3.26μm,镀银97.27nm,镀银厚度不均匀度为18.91％。用它制作的RIBLL电离室的阳极、阴极,当电离室工作气压25kPaP10气体,阳极电压220V,阴极电压－1600V时,对5.15MeVα源测量能量分辨率为4.2％。