不同电极结构介质阻挡放电的特性分析

0 引言 介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge,DBD)是把电介质放在放电区域或者至少有一侧电极上覆盖了一层电介质的气体放电.DBD又称为无声放电,在大气压下可以被用来产生具有较高能量密度的非平衡态低温等离子体[1-4].低温等离子体在制取臭氧、表面气流控制、材料表面改性和废气处理等领域有着广泛的应用[5-8].当电极结构发生改变时,放电区域的场强分布也会随之改变,DBD所呈现出的放电发生情况是存在差异的,研究不同电极结构DBD的特性,有利于优化常规获取低温等离子体反应器设计,提高放电效率,具有重要的工业应用价值[9].本文通过实验对三种不同结构的DBD进行分析,根据不同电压下放电时的电压、电流波形,分析其放电过程的发展.