CSD法制备PZT/Bi2Ti2O7薄膜的研究

Shao-wei WANG,Hong WANG,Xiao-hong XU,Shu-xia SHANG,Min WANG

PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS（2000）

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摘要

用化学溶液分解(CSD)法制备Pb(Zr0.5Ti0.5)O3(PZT)和Bi2Ti2O7薄膜,利用X-射线衍射技术研究了以Bi2Ti2O7为籽晶层的PZT薄膜的结晶性.实验结果表明,以高(111)取向的Bi2Ti2O7为籽晶层可获得高结晶性的PZT薄膜,在750℃退火10 min的PZT/Bi2Ti2O7薄膜具有单一的钙钛矿相.

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