热膜式气体流量传感器异物污染流场仿真分析
Machine Building & Automation（2017）
摘要
为研究MEMS热膜式流量传感器异物污染后的测量精度变化与污染程度的关系,通过试验分析了芯片表面污染物分布情况,建立了异物堆积模拟示意图.采用fluent流体分析软件,研究了异物堆积后MEMS芯片表面流速的变化.通过分析可知,当有异物堆积时,芯片表面附近区域流速会发生变化,比无异物堆积时变小,且速度差随入口速度的增加而增加.
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