光纤接头 V 型微槽超精密机床的误差预估

误差预估是超精密机床设计中的重要环节，在系统的设计阶段用来预测和控制超精密机床的总误差。首先介绍了误差预估在超精密机床设计中的重要作用，对本实验室设计制造的光纤接头V型微槽超精密机床进行简单介绍，详细说明了均方根（RMS）原则在超精密机床误差预估中的应用并计算得到预估误差值。