粉体及制备工艺对IGZO靶材致密度及形貌的影响

分别用化学共沉淀粉和单元氧化物混合粉为原料烧结制备In2Ga2ZnO7(IGZO)靶材,对比研究了煅烧温度、烧结温度、烧结气氛、保温对靶材烧结致密度和微观结构的影响.结果表明,混合粉比共沉淀粉更容易促进烧结致密化,但通过选择合适的煅烧温度和烧结工艺,两种原料粉均可获得密度高于99.5％的IGZO靶材.靶材烧成前1100℃保温效果最好,最佳烧成温度区间为1400 ～1450℃.共沉淀粉优选煅烧温区为900 ～1050℃,烧结时对氧气气氛更敏感;混合粉优选煅烧温区为750～ 900℃,且在氧气气氛下烧结优于空气.此外,共沉淀粉烧结体晶粒均匀分布、晶界清晰,而混合粉的烧结体表面晶界模糊,呈“网格状”和“层状”形貌.