压电微位移器的实验建模与复合控制

为实现动静态特性理想的压电微位移器控制,提出一种前馈控制和PI控制相结合的微细位移控制算法。对该压电微位移器进行迟滞特性实验测试,以实验数据为基础建立了迟滞特性的Preisa-ch模型,采用比例环节作为前馈控制器, PI控制作为反馈控制环节,构成复合控制。仿真结果表明：系统阶跃响应稳态误差小于0.4μm,调节时间小于2ms,能够满足精密加工要求。