ZrN系硬质膜的研究进程与展望

Materials Protection（2019）

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摘要

以ZrN硬质薄膜为基础,通过添加金属元素,可以形成多组元硬质薄膜体系.从制备方法、晶体结构、硬度、耐磨性、抗氧化性、耐腐蚀性、电气性能等方面对ZrN系硬质薄膜的发展现状进行了讨论和分析,给出了比较和评述.在此基础上,提出了ZrN系硬质薄膜今后的研究和应用发展方向.

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