基于偏振激光干涉技术的波长计

Acta Metrologica Sinica（2013）

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摘要

提出了一种基于偏振激光干涉技术的波长计,该波长计能在微米行程上实现10-6的测量精度,位移行程的缩减有效地减小了环境温度、波长漂移、空气折射率对测量精度的影响.给出了两种未知激光源(DL100-Toptica和Nd:YAG)的波长测量值及不确定度值,同时还给出了该波长计与商用波长计的比对结果.

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