基于氮化铝薄膜的压电水听器的研制
Science Technology and Engineering（2020）
摘要
为将氮化铝(AlN)的压电特性与微电子机械系统(microelectro mechonical system,MEMS)的微加工技术相结合,研制基于AlN压电薄膜结构的单电极水听器.通过采用COMSOL仿真方法研究了器件在20 ～100 Hz低频范围内谐振特性,结果表明压电薄膜优化厚度0.8 ～1.0 μm,振动薄膜直径100 μm.给出了器件制备工艺流程,采用感应耦合等离子体(inductivelycoupled plasma,ICP)精准刻蚀A1N薄膜提高成品率,并对实际样品进行高静水压等环境适应性测试.单个水听器阵列结构是40 ×40,实际尺寸为7 mm×7 mm,可见AlN薄膜可以用来制备高性能的水听器集成系统.
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