D8advance X射线衍射仪测试ITO薄膜厚度
Laboratory Science（2017）
摘要
X射线衍射仪是材料研究中物相表征的常规手段,利用X射线衍射测试纳米级平整薄膜厚度具有无损、高精度、测试范围大的优点.以ITO薄膜材料为例,利用布鲁克D8 advance衍射仪通过X射线反射法测量薄膜材料的厚度以及粗糙度等结构参数,对测试样品的要求、测量方法的原理、布鲁克D8 advance衍射仪的具体调试和测试步骤以及数据处理方法等进行了详细的说明.这一方法为高校利用常见的X射线衍射仪测试薄膜材料结构参数提供了具体的实验指导.
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