基于悬空电容的机械振子的制备和表征

Xin DAI,Yongchao LI,Jiazheng PEN,Junliang JIANG,Xingyu WEI,Yapeng LU,Sheng LU,Xuecou TU,Guozhu SUN,Peiheng WU

Chinese Journal of Low Temperature Physics（2018）

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摘要

微机械振子在信息处理的研究领域有着重要的应用,我们采用超导材料铝制备了悬空电容,该悬空电容的上极板构成了微机械振子.悬空电容和螺旋电感一起构成LC振荡电路.微波通过平面波导传输线耦合进来,在LC电路中形成电磁振荡,同时,激励出薄膜机械振子的机械振动.本文详细介绍了采用稀释的光刻胶作牺牲层来制备悬空结构的方法,并通过测试,研究了悬空电容中的薄膜振动特性,为今后机械振子与微波场、光场甚至量子比特的相互耦合等研究工作提供了重要参考.

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