微型DMD哈达玛变换近红外光谱仪

提出并设计了一个应用数字微镜(DMD)的哈达玛变换近红外光谱仪.以光栅为分光元件,用DMD代替传统的机械式哈达玛编码模板进行光学调制,用InGaAs单点光电二极管探测调制后的光谱信号.综合考虑分辨率、能量利用率、像差和体积等因素,合理选择狭缝长和宽、光栅入射角及透镜焦距,采用光路分段优化法进行光学设计,通过DMD面阵上的狭缝像和探测器上的点斑尺寸等分析设计结果.模拟分辨率优于4 nm,探测器上点斑尺寸小于3 mm,光学系统尺寸为75 mm×25 mm×85 mm.为提高光谱仪对弱光谱信号的探测能力,在系统前加入了一种集光结构,使从光纤出射的光能的利用率理论值提高24.2％.实验结果表明,该光谱仪的光谱分辨率优于6nm,通过添加集光结构可以大大提高光谱仪的能量利用效率.该光谱仪具有分辨率高、能量利用率高、体积小、成本低等优点,有广阔的应用前景.