材料内虚拟分层对计算电子输运结果的影响

用Monte-Carlo方法计算虚拟界面中电子在不同目标处通过的粒子积分流量和能量沉积。根据材料内单层多次模拟数据，计算一次虚拟多层模拟数据的偏离程度。结果表明，入射电子能量越低，虚拟多层单层厚度越薄，层数越多，计算结果偏离程度越大。