BaxSr1-xTiO3微弧氧化铁电薄膜微观结构及电学性能

用分析纯Ba(OH)2?8H2O和Sr(OH)2?8H2O配制电解液，采用微弧氧化法在工业纯钛板(99.5%)表面原位生成BaxSr(1-x)TiO3铁电薄膜。研究了Ba2+/Sr2+对薄膜晶体结构、物相组成、表面形貌及表面粗糙度的影响，并对薄膜的介电、铁电性能进行了表征。结果表明，Ba2+/Sr2+对薄膜晶体结构无影响，但随Ba2+含量增加，BaxSr(1?x)TiO3薄膜中x值与理论值偏离越大；随电解液浓度及Ba2+/Sr2+增加，薄膜表面变得疏松，散布的颗粒尺寸增大，表面粗糙度值增加。在Ba2+和Sr2+各为0.2 mol/L时所得薄膜表面平整度及致密性最好，表面粗糙度值最小，其在100 Hz条件下的介电常数为454.8，且具有饱和电滞回线，有较好的商业化应用前景。