多功能键合仪研制及在教学中的应用
Experimental Technology and Management（2017）
摘要
对硅/玻璃阳极键合进行了实验技术研究,阐述了实验设计思路;确定了实验的内容和方法,据此研制出能直观显示硅/玻璃界面键合情况以及键合电流-时间曲线的多功能键合实验仪.通过键合操作、现象观察和深入分析,使学生更加深入了解键合机理、掌握影响键合效果与效率的主要因素.该实验技术有助于提升学生的动手能力、分析能力以及综合素质.
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关键词
anodic bonding,teaching experiment,bonding instrument,current detection
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