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Annealing Effect on the Structural and Optical properties of SiOx films deposited by HFCVD

J. A. Luna López, A. Benítez Lara,G. García Salgado, D. Hernández de la Luz, M. Pacio,A. Morales Sanchez,S. A. Perez Garcia

International Journal on Smart Sensing and Intelligent Systems（2020）

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