功率分配比大范围可调的光功率分配器集成芯片

光功率分配器(OPS)是光子集成电路的基本元件之一,广泛应用于多种领域.功率分配比(PSR)可调的OPS可提高光子集成电路的灵活性,简化光子集成电路系统.提出了一种硅基PSR大范围可调的OPS集成芯片方案,通过将对称2×2多模干涉仪、波导光栅和狭缝结构等硅基器件结合在一起,并改变输入光信号的波长和微型热光调制器两端加载的电压,实现了大范围可调的PSR.实验结果表明,本方案得到的两种OPS结构可分别在6.72 nm和5.56 nm波长范围内实现0.51～36.91和0.88～230.46的PSR变化;在50℃的温度变化下,可实现8.58～29.75和5.01～425.43的PSR变化.且该OPS具有尺寸小、质量轻、灵活性高等优势,可广泛应用于光开关、信道划分、功率分配等通信和信号处理领域.