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光刻技术的挑战和解决思路

梁红波, 邵微

Fine and Specialty Chemicals（2021）

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摘要
简介了光刻技术及其国内外发展现状,分析了我国光刻技术面临的挑战,从光刻胶、光刻机、政策和人才等4个方面提出了解决思路.
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