RBS法测量重元素衬底上轻元素薄靶厚度的方法研究
Atomic Energy Science and Technology（2021）
摘要
在核反应实验中,靶厚的精度往往会直接影响实验结果的可靠性.为精确测量重元素衬底上轻元素薄靶的厚度,本文通过卢瑟福背散射(RBS)法,使用能量1.5 M eV的质子束对蒸镀在300μm厚181 Ta衬底上薄74 Ge靶的厚度进行了测量.RBS法测量结果与称重法相差较小,但信噪比从1:2000提升到1:12,靶厚相对不确定度由10％ 减少到5％ 左右.同时采用SIMNRA软件对测量结果进行了模拟验证,模拟能谱与实验能谱符合较好.通过RBS法测量重元素衬底上轻元素薄靶的厚度,尤其当重元素衬底的质量远大于靶物质时,可有效提高测量结果的信噪比及不确定度,为核反应实验的分析提供了较好的依据.
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