CdS紫外探测器芯片的制备研究
Infrared Technology（2021）
摘要
针对紫外探测器在紫外-红外双色探测器中的工程化应用需求,开展了Pt/CdS肖特基紫外探测器研究,通过对CdS晶片表面处理工艺、Pt电极制备及紫外芯片退火等关键技术进行优化研究,并对Pt/CdS肖特基紫外探测器性能进行测试分析.测试结果表明:Pt/CdS肖特基紫外探测器在0.3～0.5μm下响应率大于0.2 A/W,对3～5μm红外波长的平均透过率大于80％,很好地满足了紫外-红外双色探测器中的工程化应用要求.
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