基于α-Al2O3/SiO2电容式露点变送器的设计及应用

薛培雷,蒋书波, 沈宇, 陶芳玲

Instrument Technique and Sensor（2021）

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摘要

为实现在低露点环境下的准确测量,应用α-Al2 O3/SiO2电容传感器和露点标定技术,设计了具有温度补偿的电容式露点变送器.文中介绍了α-Al2 O3/SiO2电容传感器的结构、传感器对微量水分响应的感湿机理以及变送器的硬件设计,并利用露点发生器和SDK-710快速高低温试验箱来模拟需要的实验环境,通过数据采集和数据处理,将露点温度、环境温度、频率值建立三维曲面关系,并用于软件实现.结果表明,露点温度在-80～20℃范围内,环境温度在-20～30℃范围内,误差不超过±1℃.

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