小型磁偏转质谱计研究

基于磁质谱离子光学成像聚焦原理对其离子光学系统、离子源和质量分析器的物理参数及几何结构尺寸进行优化,研制了新型小型磁偏转质谱计,其质量为4.3 kg,体积为(220×164×162)mm3,功耗为25 W.对质谱计的质量范围、灵敏度、分辨能力、最小可检漏率和稳定性等性能指标开展实验研究.结果表明,该质谱计的质量范围为1～134 u,大通道和小通道50％ 峰高处的分辨能力分别为56和13,对氩气、氮气和氦气的灵敏度分别为1.63×10-4、1.17×10-4、2.3×10-5 A/Pa,最小可检漏率为1.24×10-10 Pa·m3/s,仪器在3.5 h内的稳定性为2.5％.